Анализатор Массы и Энергии для Диагностик Плазмы - EQP от Hiden Аналитически

Спектрометр EQP массовый совмещает электростатический анализатор энергии участка с фильтром высокой эффективности квадрупольным массовым в аппаратуре конструированной для диагностик плазмы. EQP может приобрести массовые спектры и распределения энергии нейтралей, радикалов и ионов (положительно и отрицательно). Тенденций в интенсивности можно проложить курс против времени. Быстрые режимы приема значат что переходные процессы и послесвечения можно изучить.

Конфигурация

Спектрометр EQP массовый аппаратура контролируемая ПК для анализа и диагностик плазмы. Спектры можно легко приобрести, сохранить и манипулировать используя ПО MASsoft „Windowsâ основанное ¢. EQP использует электростатический анализатор энергии поля участка для анализа энергии иона, передачи и разрешения этого прибора делая им аппаратуру выбора для диагностик плазмы.

Анализатор энергии следовать фильтром втройне раздела квадрупольным массовым. ИМП ульс подсчитывая электронный умножитель, который можно установить для положительной или отрицательной деятельности иона использован для обнаружения иона. Этот детектор обеспечивает высокую чувствительность, быструю реакцию и высокий динамический диапазон (>10)10 для ионов и нейтралей плазмы. Массовые варианты ряда amu 300 amu, 510 amu, 1000 amu и 2500. Интервал энергии eV 100 eV стандартн и 1000 опционное для того чтобы обеспечить пользователя с анализом положительных и отрицательных ионов и спектров потенциала появления для анализа радикалов. Сигнал стробируя сразу входным сигналом TTL также доступен с стробируя разрешением до 1 µs для изучений послесвечения.

Характеристики

  • ПО контролировало Оптику Извлечения Иона для минимального возмущения плазмы.
  • Электростатический анализатор Участка 45°, Энергия Развертки на 0,05 eV инкрементирует 0.25eV FWHM.
  • Минимальное возмущение траектории полета иона & постоянн передачи иона на все энергии.
  • Дифференциально нагнетенный Втройне Квадруполь фильтра, масса к 2500amu.
  • Высокий Ион ИМПа Ульс Чувствительности/Стабилности Подсчитывая Детектор с динамическим диапазоном 7 декад.
  • Tuneable объединенное ioniser для MS потенциала появления с вариантом приложения электрона.
  • Писать Датчик и блокировки для того чтобы обеспечить над предохранением от давления.
  • Просигнализируйте стробируя разрешение 1ms на пульсированные плазмы или энергия & время распределений массы v.
  • 1000eV Вариант, Плавая вариант до 10keV, Чашки Фарадея для high-density плазм.
  • Муметалл, Рейдио-Металл защищая варианты, высокий вариант деятельности давления.
  • Управление MASsoft через RS232, RS485 или LAN Локальных сетей.

режим деятельности

EQP работает в одном из 2 режимов:

  1. Режим PI: Ионы можно сразу извлечь от плазмы. Эти ионы плазмы (PI) сформированы в плазме, извлечены от ее и сфокусированы в фильтр энергии.
  2. Режим EI: Нейтрали и радикалы попробованы от плазмы и после этого ионизированы на низком давлении (10-5 торр.) внутри источника иона (EI) удара электрона. Энергия ионизируя электронов может быть проконтролирована для того чтобы включить обнаружение радикалов. Ионы от источника луча электронов сперва перенесены и после этого сфокусированы сразу в фильтр энергии.

Применения

  • Изучения Вытравлять/Низложения
  • Удаление вживления Иона/Лазера
  • Остаточное Обнаружение Анализа/Утечки Газа
  • Соединение электрода Плазмы - следовать условиями электрода во время деятельности.
  • Анализ через viewport, заземленный электрод, управляемый электрод

Last Update: 25. April 2013 13:19

Ask A Question

Do you have a question you'd like to ask the manufacturer of this equipment or can you provide feedback regarding your use of this equipment?

Leave your feedback
Submit
Other Equipment by this Supplier
Other Equipment