Samlas och EnergiAnalysatorn för PlasmaDiagnostik - EQP från Analytiska Hiden

EQPNA samlas spectrometersammanslutningar som en elektrostatisk sektorenergianalysator med en kickkapacitetsquadrupole samlas filtrerar i en instrumentera planlade för plasmadiagnostik. EQPEN kan få samlasspectrana och energifördelningorna av frilägen, radikaler och joner (realiteten och negationen). Trender i styrka kan konspireras mot tid. Fasta förvärvfunktionslägemedlet att transients och afterglows kan vara utstuderade.

Konfiguration

EQPNA samlas spectrometeren är en kontrollerad PC instrumenterar för plasmaanalys och diagnostik. Spectra kan lätt fås, lagras och behandlas genom att använda baserad MASsoft för Windowsâ „¢ programvara. EQPEN använder en elektrostatisk sektor sätter in energianalysatorn för jonenergianalys, överföringen och upplösning av denna apparatdanande det instrumentera av primat för plasmadiagnostik.

Energianalysatorn följs av en trippel delar upp quadrupolen samlas filtrerar. En multiplikator för räknande elektron för pulsera, som kan konfigureras för realitet- eller negationjonfunktion, används för jonupptäckt. Denna avkännare ger kickkänslighet, fastar svar, och den dynamiska kicken spänner (>1010) för plasmajoner och frilägen. Mass spänner alternativ är amu 300 amu, 510 amu, 1000 amuen och 2500. En energi spänner av 100 som valfri eV är standard och eV 1000 att ge användaren med analys av realitet- och negationjoner och utseendemässiga potentiella spectra för radikalanalys. Signalera att utfärda utegångsförbud för by riktar TTL matar in är också tillgängligt med att utfärda utegångsförbud för upplösning till 1 µs för afterglowstudier.

Särdrag

  • Programvara kontrollerade JonExtraktionOptik för minimum plasmaperturbation.
  • ökar den Elektrostatiska analysatorn för Sektoren 45°, BildläsningsEnergi på 0,05 eV 0.25eV FWHM.
  • Minimum perturbation av energier för överföring för jonflygbana & konstantjonalls.
  • Den Differentially pumpade Trippeln filtrerar Quadrupolen, samlas till 2500amu.
  • KickKänsligheten/Stabilitet Pulserar Jonen som Räknar Avkännaren med 7 som det dynamiska årtiondet spänner.
  • Tuneable integralioniser för utseendemässig potentiell MS med elektrontillbehöralternativ.
  • Skriva Mätinstrumentet och säkerthetsbrytare för att ge över pressa skydd.
  • Signalera utfärda utegångsförbud för upplösning 1ms för pulserade plasmer eller energi & samlas tid för fördelningor v.
  • Alternativ som 1000eV upp till Svävar alternativ 10keV, Faraday Kuper för kicken - täthetplasmer.
  • Mu-Belägga med metall, Radiosända-Belägga med metall skydda alternativ, högtryckfunktionsalternativ.
  • MASsoft kontrollerar via RS232, RS485 eller EthernetLAN.

funktionsläge av funktionen

EQPEN fungerar i ett av två funktionslägen:

  1. PI-Funktionsläge: Joner kan direkt dras ut från plasmaet. Dessa plasmajoner (PI) bildas i plasmaet, utdraget från det, och fokuserat in i energin filtrera.
  2. EI-Funktionsläge: Frilägen och radikaler tas prov från plasmaet, och därefter joniserat på lowen pressa (10-5 torr) insida som en elektron får effekt (EI) jonkälla. Energin av de joniserande elektronerna kan kontrolleras för att möjliggöra upptäckten av radikaler. Joner från elektronen strålar källa överförs först, och därefter fokuserat direkt in i energin filtrera.

Applikationer

  • Etsa/AvlagringStudier
  • Ablation för Jondet att inplantera/Laser
  • Residualen Gasar Analys/Läcker Upptäckt
  • Att koppla ihop för Plasmaelektrod - följ elektroden villkorar under funktion.
  • Analys till och med en viewport, jordning elektrod, drivande elektrod

Last Update: 25. April 2013 13:19

Ask A Question

Do you have a question you'd like to ask the manufacturer of this equipment or can you provide feedback regarding your use of this equipment?

Leave your feedback
Submit
Other Equipment by this Supplier
Other Equipment