等离子体诊断的 - 从分析的 Hiden 的 EQP 质量和能源分析程序

等离子体诊断的 - 从分析的 Hiden 的 EQP 质量和能源分析程序

EQP 质谱仪与在为等离子体诊断设计的仪器的高性能四极的质量补白结合一个静电部门能源分析程序。 EQP 可能获取中性、基和离子的质谱和能源配电器 (正和负)。 在强度的趋势可以被密谋时间。 快速购买模式意味着临时和残光可以被学习。

配置

EQP 质谱仪是为等离子分析和诊断的一台电脑控制的仪器。 使用 Windowsâ „¢ 基于 MASsoft 软件,光谱可以获取,容易地存储和被操作。 EQP 为离子能量分析、做它仪器的此设备的传输和解决方法使用一个静电部门域能源分析程序等离子体诊断的选择。

能源分析程序由三次部分四极的质量补白跟随。 脉冲束缚电子因子,可以为正或负离子运算配置为离子检测使用。 此探测器提供高区分、快速回应和高力学范围 (>10)10 为等离子离子和中性。 质量范围选项是 300 amu, 510 amu, 1000 amu 和 2500 amu。 100 eV 的能源范围是标准的和 1000 选项的 eV 提供这个用户以对正和负离子和出峰电势光谱的分析为基分析。 装门由直接 TTL 输入的信号对给装门的解决方法也是可用的对 1 µs 为残光研究。

功能

  • 软件控制了离子最小的等离子扰动的提取光学。
  • 45° 静电部门分析程序,在 0.05 eV 的扫描能源增加 0.25eV FWHM。
  • 离子飞行路线 & 恒定的离子传输的最小的扰动在所有能源。
  • 有差别地抽的三次补白四极,对 2500amu 的质量。
  • 计数与 7 个十年力学范围的高区分/稳定性脉冲离子探测器。
  • 出峰电势 MS 的可调的集成 ioniser 有电子附件选项的。
  • 写作测量仪和互锁提供在压保护。
  • 发信号搏动的等离子或能源 & 质量分布 v 次的给装门的 1ms 解决方法。
  • 1000eV 选项,至 10keV,高密度等离子的法拉第杯的浮动的选项。
  • 镍铁高导磁合金,保护选项,高压运算选项的收音机金属。
  • MASsoft 控制通过 RS232、 RS485 或者以太网 LAN。

操作模式

EQP 在二个模式之一中运行:

  1. PI 模式: 离子可以从等离子直接地被提取。 这些等离子离子 (PI)在等离子被形成,从它被提取并且集中到能源补白。
  2. EI 模式: 中性和基从等离子被抽样然后被电离以低压 (10-5 乇) 在电子影响 (EI)离子源里面。 电离的电子的能源可能被控制启用基的检测。 从电子束来源的离子首先调用然后集中直接地到能源补白。

应用

  • 铭刻/证言研究
  • 离子注入/激光烧蚀
  • 残余的气体分析/漏水检测
  • 等离子电极联结 - 请在运算时按照电极情况。
  • 分析通过视口,接地的电极,被驱动的电极

Last Update: 25. April 2013 13:16

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