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等離子體診斷的 - 從分析的 Hiden 的 EQP 質量和能源分析程序

EQP 質譜儀與在為等離子體診斷設計的儀器的高性能四極的質量補白結合一個靜電部門能源分析程序。 EQP 可能獲取中性、基和離子的質譜和能源配電器 (正和負)。 在強度的趨勢可以被密謀時間。 快速購買模式意味著臨時和殘光可以被學習。

配置

EQP 質譜儀是為等離子分析和診斷的一臺電腦控制的儀器。 使用 Windowsâ „¢ 基於 MASsoft 軟件,光譜可以獲取,容易地存儲和被操作。 EQP 為離子能量分析、做它儀器的此設備的傳輸和解決方法使用一個靜電部門域能源分析程序等離子體診斷的選擇。

能源分析程序由三次部分四極的質量補白跟隨。 脈衝束縛電子因子,可以為正或負離子運算配置為離子檢測使用。 此探測器提供高區分、快速回應和高力學範圍 (>10)10 為等離子離子和中性。 質量範圍選項是 300 amu, 510 amu, 1000 amu 和 2500 amu。 100 eV 的能源範圍是標準的和 1000 選項的 eV 提供這個用戶以對正和負離子和出峰電勢光譜的分析為基分析。 裝門由直接 TTL 輸入的信號對給裝門的解決方法也是可用的對 1 µs 為殘光研究。

功能

  • 軟件控制了離子最小的等離子擾動的提取光學。
  • 45° 靜電部門分析程序,在 0.05 eV 的掃描能源增加 0.25eV FWHM。
  • 離子飛行路線 & 恆定的離子傳輸的最小的擾動在所有能源。
  • 有差別地抽的三次補白四極,對 2500amu 的質量。
  • 計數與 7 個十年力學範圍的高區分/穩定性脈衝離子探測器。
  • 出峰電勢 MS 的可調的集成 ioniser 有電子附件選項的。
  • 寫作測量儀和互鎖提供在壓保護。
  • 發信號搏動的等離子或能源 & 質量分佈 v 次的給裝門的 1ms 解決方法。
  • 1000eV 選項,至 10keV,高密度等離子的法拉第杯的浮動的選項。
  • 鎳鐵高導磁合金,保護選項,高壓運算選項的收音機金屬。
  • MASsoft 控制通過 RS232、 RS485 或者以太網 LAN。

操作模式

EQP 在二個模式之一中運行:

  1. PI 模式: 離子可以從等離子直接地被提取。 這些等離子離子 (PI)在等離子被形成,從它被提取并且集中到能源補白。
  2. EI 模式: 中性和基從等離子被抽樣然後被電離以低壓 (10-5 乇) 在電子影響 (EI)離子源裡面。 電離的電子的能源可能被控制啟用基的檢測。 從電子束來源的離子首先調用然後集中直接地到能源補白。

應用

  • 銘刻/證言研究
  • 離子注入/激光燒蝕
  • 殘餘的氣體分析/漏水檢測
  • 等離子電極聯結 - 请在運算時按照電極情況。
  • 分析通過視口,接地的電極,被驅動的電極

Last Update: 25. April 2013 13:16

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