Plasma-Ätzen-Cleaning System - TETRA-30-LF-PC von Diener electronic

Die Kleinen TETRA-30-LF-PC mit 30 Litern Kammervolumen ist für die Produktion in den Bereichen eingesetzt: Reinigen, Ätzen und Aktivierung.

Technische Daten

  • Schaltschrank: B 600 mm, H 800 mm, D 650 mm
  • Kammer: B 305 mm, H 300 mm, L 370 mm (optional: L 625 mm)
  • Kammervolumen: ca.. 34 Liter
  • Gasversorgung: 3 Gaskanäle über MFC
  • Generator: 40kHz/0-1000 W (optional 13,56 MHz oder 2,45 GHz)
  • Vakuumpumpe: Leybold, Typ D16B (25 m³ / h)
  • Aufnahme: bis zu 6 Tabletts (optional: Drehtrommel)
  • Steuerung: PC-Steuerung (Windows)

Last Update: 3. October 2011 22:06

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