Die Kleinen TETRA-30-LF-PC mit 30 Litern Kammervolumen ist für die Produktion in den Bereichen eingesetzt: Reinigen, Ätzen und Aktivierung.
Technische Daten
- Schaltschrank: B 600 mm, H 800 mm, D 650 mm
- Kammer: B 305 mm, H 300 mm, L 370 mm (optional: L 625 mm)
- Kammervolumen: ca.. 34 Liter
- Gasversorgung: 3 Gaskanäle über MFC
- Generator: 40kHz/0-1000 W (optional 13,56 MHz oder 2,45 GHz)
- Vakuumpumpe: Leybold, Typ D16B (25 m³ / h)
- Aufnahme: bis zu 6 Tabletts (optional: Drehtrommel)
- Steuerung: PC-Steuerung (Windows)