El sistema TETRA-30-LF-PC de la pequeña escala con 30 litros de volumen de compartimiento se utiliza para la producción en los dominios: limpieza, aguafuerte y activación.
Datos Técnicos
- Cabina del Dispositivo De Distribución: W 600 milímetros, H 800 milímetros, D 650 milímetros
- Compartimiento: W 305 milímetros, H 300 milímetros, L 370 milímetros (de opcional: L 625 milímetros)
- Volumen de Compartimiento: aproximadamente 34 litros
- Suministro de gas: 3 canales del gas con el MFC
- Generador: 40kHz/0-1000 W (13,56 Megaciclos opcionales o 2,45 Gigahertz)
- Bomba de Vacío: Leybold, Tipo D16B (³ de 25 m /h)
- Bandejas: hasta 6 bandejas (opcionales: cilindro rotativo)
- Mando: Mando de la PC (Windows)