प्लाज्मा नक़्क़ाशी - क्लीनिंग सिस्टम - Diener इलेक्ट्रॉनिक से TETRA-30-वामो पीसी

30 लीटर चैम्बर की मात्रा के साथ छोटे पैमाने पर सिस्टम TETRA-30-LF-पीसी डोमेन में उत्पादन के लिए प्रयोग किया जाता है: सफाई, नक़्क़ाशी, और सक्रियण.

तकनीकी डाटा

  • स्विचगियर कैबिनेट W 600 मिमी, एच 800 मिमी, डी 650 मिमी:
  • चैंबर: डब्ल्यू 305 मिमी, एच 300 मिमी, एल 370 मिमी (वैकल्पिक: L 625 मिमी)
  • चैंबर मात्रा: लगभग. 34 लीटर
  • गैस की आपूर्ति: MFC के माध्यम से 3 गैस चैनलों
  • जनरेटर: 40kHz/0-1000 डब्ल्यू (वैकल्पिक 13.56 मेगाहर्ट्ज या 2.45 गीगा)
  • वैक्यूम पंप: Leybold, टाइप D16B (25 m³ / घंटे)
  • ट्रे: अप करने के लिए 6 ट्रे (वैकल्पिक: रोटरी ड्रम)
  • नियंत्रण: पीसी नियंत्रण (विंडोज)

Last Update: 4. October 2011 00:31

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