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Sistema di Incisione-Pulizia del Plasma - TETRA-30-LF-PC da Diener Elettronico

Il sistema TETRA-30-LF-PC della piccola scala con 30 litri di volume di camera è utilizzato per produzione nei domini: pulizia, incisione ed attivazione.

Dati Tecnici

  • Gabinetto dell'Apparecchiatura Elettrica Di Comando: W 600 millimetri, H 800 millimetri, D 650 millimetri
  • Camera: W 305 millimetri, H 300 millimetri, L facoltativo 370 millimetri (: L 625 millimetri)
  • Volume di Camera: approssimativamente 34 litri
  • Approvvigionamento di gas: 3 canali del gas con il MFC
  • Generatore: 40kHz/0-1000 W (13,56 Megahertz facoltativi o 2,45 Gigahertz)
  • Pulsometro: Leybold, Tipo D16B (un ³ da 25 m. /h)
  • Cassetti: fino a 6 cassetti (facoltativi: tamburo rotante)
  • Controllo: Controllo del PC (Windows)

Last Update: 11. January 2012 04:42

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