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플라스마 에칭 청소 시스템 - 전자 Diener에서 TETRA-30-LF-PC

체임버 용적 30 리터를 가진 소규모 시스템 TETRA-30-LF-PC는 도메인에 있는 생산을 위해 이용됩니다: 청소, 에칭 및 활성화.

기술적인 데이터

  • 개폐기 장: W 600 mm, H 800 mm, D 650 mm
  • 약실: W 305 mm, H 300 mm, mm (선택 L 370: L 625 mm)
  • 체임버 용적: 대강 34 리터
  • 가스 공급: MFC를 통해 3개의 가스 채널 통신로
  • 발전기: 40kHz/0-1000 W (선택적인 13.56 MHz 또는 2.45 GHz)
  • 진공 펌프: Leybold 의 모형 D16B (25 m ³ /h)
  • 쟁반: 선택 6개까지 쟁반 (: 회전하는 드럼)
  • 통제: PC 통제 (Windows)

Last Update: 11. January 2012 04:45

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