Site Sponsors
  • Oxford Instruments Nanoanalysis - X-Max Large Area Analytical EDS SDD
  • Park Systems - Manufacturer of a complete range of AFM solutions
  • Strem Chemicals - Nanomaterials for R&D

Plasma Etching Sistema-Limpeza - TETRA-30-LF-PC a partir de Diener Eletrônico

O sistema de pequena escala TETRA-30-LF-PC com 30 litros o volume da câmara é usada para a produção nos domínios: gravura, limpeza e ativação.

Dados técnicos

  • Comutadores de gabinete: W 600 mm, 800 mm H, D 650 milímetros
  • Câmara: W 305 mm e 300 mm H, L 370 mm (opcional: L 625 mm)
  • Volume da câmara: aprox. 34 litros
  • Abastecimento de gás: 3 canais de gás através de MFC
  • Gerador: 40kHz/0-1000 W (opcional 13,56 MHz ou 2,45 GHz)
  • Bomba de vácuo: Leybold, Tipo D16B (25 m³ / h)
  • Bandejas: até 6 bandejas (opcional: tambor rotativo)
  • Controlo: PC (Windows)

Last Update: 4. October 2011 00:28

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this equipment listing?

Leave your feedback
Submit
Other Equipment