O sistema de pequena escala TETRA-30-LF-PC com 30 litros o volume da câmara é usada para a produção nos domínios: gravura, limpeza e ativação.
Dados técnicos
- Comutadores de gabinete: W 600 mm, 800 mm H, D 650 milímetros
- Câmara: W 305 mm e 300 mm H, L 370 mm (opcional: L 625 mm)
- Volume da câmara: aprox. 34 litros
- Abastecimento de gás: 3 canais de gás através de MFC
- Gerador: 40kHz/0-1000 W (opcional 13,56 MHz ou 2,45 GHz)
- Bomba de vácuo: Leybold, Tipo D16B (25 m³ / h)
- Bandejas: até 6 bandejas (opcional: tambor rotativo)
- Controlo: PC (Windows)