Система TETRA-30-LF-PC малого масштаба с 30 литрами тома камеры использована для продукции в доменах: чистка, вытравливание и активация.
Технические Данные
- Шкаф Switchgear: W 600 mm, H 800 mm, D 650 mm
- Камера: W 305 mm, H 300 mm, L 370 mm (опционный: L 625 mm)
- Том Камеры: приблизительно 34 литра
- Поставка газа: 3 канала газа через MFC
- Генератор: 40kHz/0-1000 W (опционные 13,56 MHz или 2,45 GHz)
- Вачуумный насос: Leybold, Тип D16B (³ /h 25 m)
- Подносы: до 6 подносов (опционных: роторный барабанчик)
- Управление: Управление ПК (Windows)