Система Вытравливани-Чистки Плазмы - TETRA-30-LF-PC от Diener Электронного

Система TETRA-30-LF-PC малого масштаба с 30 литрами тома камеры использована для продукции в доменах: чистка, вытравливание и активация.

Технические Данные

  • Шкаф Switchgear: W 600 mm, H 800 mm, D 650 mm
  • Камера: W 305 mm, H 300 mm, L 370 mm (опционный: L 625 mm)
  • Том Камеры: приблизительно 34 литра
  • Поставка газа: 3 канала газа через MFC
  • Генератор: 40kHz/0-1000 W (опционные 13,56 MHz или 2,45 GHz)
  • Вачуумный насос: Leybold, Тип D16B (³ /h 25 m)
  • Подносы: до 6 подносов (опционных: роторный барабанчик)
  • Управление: Управление ПК (Windows)

Last Update: 11. January 2012 04:51

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this equipment listing?

Leave your feedback
Submit
Other Equipment