Det småskaliga systemet TETRA-30-LF-PC med 30 liter kammare volym används för produktion inom områdena: rengöring, etsning och aktivering.
Tekniska data
- Ställverk skåp: B 600 mm, H 800 mm, D 650 mm
- Avdelningen: B 305 mm, H 300 mm, L 370 mm (tillval: L 625 mm)
- Avdelningen volym: ca. 34 liter
- Gasförsörjning: 3 gas kanaler genom MFC
- Generator: 40kHz/0-1000 W (tillval 13,56 MHz eller 2,45 GHz)
- Vakuumpump: Leybold, Typ D16B (25 m³ / h)
- Brickor: upp till 6 fack (tillval: roterande trumma)
- Kontroll: PC-kontroll (Windows)