Site Sponsors
  • Park Systems - Manufacturer of a complete range of AFM solutions
  • Oxford Instruments Nanoanalysis - X-Max Large Area Analytical EDS SDD
  • Strem Chemicals - Nanomaterials for R&D

Plasma Etching-rengöringssystem - TETRA-30-LF-PC från Diener Electronic

Det småskaliga systemet TETRA-30-LF-PC med 30 liter kammare volym används för produktion inom områdena: rengöring, etsning och aktivering.

Tekniska data

  • Ställverk skåp: B 600 mm, H 800 mm, D 650 mm
  • Avdelningen: B 305 mm, H 300 mm, L 370 mm (tillval: L 625 mm)
  • Avdelningen volym: ca. 34 liter
  • Gasförsörjning: 3 gas kanaler genom MFC
  • Generator: 40kHz/0-1000 W (tillval 13,56 MHz eller 2,45 GHz)
  • Vakuumpump: Leybold, Typ D16B (25 m³ / h)
  • Brickor: upp till 6 fack (tillval: roterande trumma)
  • Kontroll: PC-kontroll (Windows)

Last Update: 4. October 2011 00:29

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this equipment listing?

Leave your feedback
Submit
Other Equipment