与 30 公升的小规模系统 TETRA-30-LF-PC 燃烧室容积为生产使用在域： 清洁、蚀刻和启动。
技术数据
- 互换机机柜： W 600 mm， H 800 mm， D 650 mm
- 房间： W 305 mm， H 300 mm， L 370 mm (选项： L 625 mm)
- 燃烧室容积： 大约 34 公升
- 供气： 3 条气体通道通过 MFC
- 生成器： 40kHz/0-1000 W (选项 13.56 MHz 或 2.45 GHz)
- 真空泵： Leybold，类型 D16B (25 m ³ /h)
- 盘： 6 个盘 (选项： 转台式鼓)
- 控制： 个人计算机控制 (Windows)