與 30 公升的小規模系統 TETRA-30-LF-PC 燃燒室容積為生產使用在域： 清潔、蝕刻和啟動。
技術數據
- 互換機機櫃： W 600 mm， H 800 mm， D 650 mm
- 房間： W 305 mm， H 300 mm， L 370 mm (選項： L 625 mm)
- 燃燒室容積： 大約 34 公升
- 供氣： 3 條氣體通道通過 MFC
- 生成器： 40kHz/0-1000 W (選項 13.56 MHz 或 2.45 GHz)
- 真空泵： Leybold，類型 D16B (25 m ³ /h)
- 盤： 6 個盤 (選項： 轉臺式鼓)
- 控制： 個人計算機控制 (Windows)