等離子蝕刻清潔系統 - 從電子的 Diener 的 TETRA-30-LF-PC

與 30 公升的小規模系統 TETRA-30-LF-PC 燃燒室容積為生產使用在域: 清潔、蝕刻和啟動。

技術數據

  • 互換機機櫃: W 600 mm, H 800 mm, D 650 mm
  • 房間: W 305 mm, H 300 mm, L 370 mm (選項: L 625 mm)
  • 燃燒室容積: 大約 34 公升
  • 供氣: 3 條氣體通道通過 MFC
  • 生成器: 40kHz/0-1000 W (選項 13.56 MHz 或 2.45 GHz)
  • 真空泵: Leybold,類型 D16B (25 m ³ /h)
  • 盤: 6 個盤 (選項: 轉臺式鼓)
  • 控制: 個人計算機控制 (Windows)

Last Update: 23. January 2012 03:54

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