FlexTRAK WF-Σύστημα Επεξεργασίας Plasma από Nordson

Η FlexTRAK-WF Σύστημα Plasma είναι σχεδιασμένη για υψηλής απόδοσης επεξεργασία πλακιδίων μονοκρυστάλλου ημιαγωγών (και άλλες επίπεδες επιφάνειες) σε μεγέθη που κυμαίνονται από 3 in έως 200mm (8 ίντσες) σε διάμετρο, για γκοφρέτες που πραγματοποιήθηκε στο ανοικτό κασέτες.

Χαρακτηριστικά και πλεονεκτήματα

Χαρακτηριστικά και bemnefits του FlexTRAK-WF Σύστημα Plasma περιλαμβάνουν:

  • Διπλή σταθμούς φόρτωσης κασέτα για την ελαχιστοποίηση του χρόνου αδράνειας
  • Multi-μέγεθος ικανό ευθυγραμμών με ελάχιστο υλικό μετάβαση απαιτείται
  • Στιβαρή ρομποτική μηχανή πλακιδίων
  • Ενσωματωμένη αναγνώριση πλακιδίων για την υψηλή αξιοπιστία χειρισμού πλακιδίων
  • Συμπαγής σχεδιασμός ελαχιστοποιεί χώρο στο δάπεδο
  • Εξαιρετικά ομοιόμορφη αντιμετώπιση και γρήγορη απόδοση

Η πατενταρισμένη FlexTRAK πλάσμα θάλαμο σχεδιασμός παρέχει εξαιρετική etch ομοιομορφία και την επαναληψιμότητα της διαδικασίας. Πρωτοβάθμια εφαρμογές πλάσμα περιλαμβάνουν μια ποικιλία χαρακτικής, αποτέφρωση, και τα βήματα descum. Άλλες διαδικασίες που περιλαμβάνουν την αφαίρεση του πλάσματος μόλυνση, τραχύτητα επιφάνειας, αυξάνοντας διαβρεξιμότητα, και την ενίσχυση της συγκόλλησης και αντοχή πρόσφυσης.

Εφαρμογές

Την επεξεργασία πλακιδίων πριν από την τυπική back-end βήματα συσκευασίας - κατάλληλο για συσκευασία wafer-επίπεδο, flip chip, ή παραδοσιακή συσκευασία.

Καθαρισμός Wafer

  • Κατάργηση μόλυνση πριν από την γκοφρέτα πρόσκρουση
  • Κατάργηση οργανική μόλυνση
  • Αφαιρέστε Φθόριο και άλλες ακαθαρσίες αλογόνου
  • Αφαιρέστε μετάλλων και οξείδια
  • Βελτίωση spun-on πρόσφυση ταινία
  • Καθαρίστε τα μαξιλάρια ομολόγων Αλουμινίου

Χαλκογραφία Wafer

  • Descum πλακιδίων της υπολειμματικής photoresist / BCB
  • Διηλεκτρικές Pattern, προκειμένου να αναδιανεμηθεί
  • Γάζας / Etch photoresist
  • Βελτίωση της πρόσφυσης των wafer-Applied Materials
  • Αφαιρέστε την περίσσεια wafer-εφαρμόζεται μούχλα / εποξειδικών
  • Βελτιώστε την πρόσφυση του χρυσού, συγκόλλησης προσκρούσεις
  • Γκοφρέτα Destress να μειώσει θραύση
  • Βελτίωση spun-on πρόσφυση ταινία
  • Καθαρίστε τα μαξιλάρια ομολόγων Αλουμινίου

Last Update: 19. October 2011 16:11

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this equipment listing?

Leave your feedback
Submit
Other Equipment