Site Sponsors
  • Park Systems - Manufacturer of a complete range of AFM solutions
  • Strem Chemicals - Nanomaterials for R&D
  • Oxford Instruments Nanoanalysis - X-Max Large Area Analytical EDS SDD

FlexTRAK-WF Plasma Treatment System Nordson

FlexTRAK-WF Plasma System on suunniteltu suurikapasiteettisten käsittely puolijohdekiekkojen (ja muut litteät substraatteja) koot vaihtelevat 3 tuumaa ja 200 mm (8 tuumaa) halkaisija, ja kiekkojen pidetään auki kasetteja.

Ominaisuudet ja edut

Ominaisuudet ja bemnefits sekä FlexTRAK-WF Plasma System sisältää:

  • Dual kasetti kuorma asemat minimoida seisonta
  • Multi-size pystyy Aligner pienellä laitteisto Vaihto tarvitaan
  • Vankka robotti kiekkojen moottori
  • Integroitu kiekko tunnustusta luotettavuuden kiekkojen
  • Kompakti muotoilu minimoi lattiatilaa
  • Erittäin yhtenäinen kohtelu ja nopea läpijuoksu

Patentoitu FlexTRAK plasma kammion muotoilu antaa poikkeuksellisen etch yhdenmukaisuutta ja prosessin toistettavuus. Ensisijainen plasma sovelluksia ovat erilaisia ​​etsaus, polttoupokkaaseen ja descum vaiheet. Muiden plasman prosesseja ovat saastuminen poisto, pinnan karhennus, kasvava vettyvyys, ja parantaa liimaus ja Tartuntalujuus.

Sovellukset

Kiekkojen prosessointia ennen tyypillinen back-end pakkaus vaiheet - sopii puolijohdetasolta pakkaus, flip chip, tai perinteinen pakkaus.

Wafer pesu

  • Poista epäpuhtaudet ennen kiekkojen kuohumisen
  • Poistaa orgaaniset saastuminen
  • Poista Fluori ja muut halogeeni saastuminen
  • Poista metalli-ja metallioksideilla
  • Paranna kehruun filmille tarttuvuus
  • Puhdas alumiini bond tyynyt

Wafer Etsaus

  • Descum kiekko jäljellä valonkestävistä / BCB
  • Pattern dielektriset kerrokset jaettavaksi
  • Strip / Etch valonkestävistä
  • Paranna tartuntaa vohveli-Sovellettu materiaalitekniikka
  • Poista ylimääräinen kiekko-soveltanut hometta / epoksi
  • Paranna tartuntaa kultaa, juota kuoppia
  • Destress kiekkojen vähentää rikkoutuminen
  • Paranna kehruun filmille tarttuvuus
  • Puhdas alumiini bond tyynyt

Last Update: 4. October 2011 14:20

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this equipment listing?

Leave your feedback
Submit
Other Equipment