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FlexTRAK-WF Plasma sistema di trattamento da Nordson

Il FlexTRAK-WF sistema al plasma è progettato per l'elaborazione high-throughput di fette di semiconduttori (e altre superfici piane) in dimensioni che vanno da 3 pollici a 200 mm (8 pollici) di diametro, per wafer tenuto in cassette aperte.

Caratteristiche e vantaggi

Caratteristiche e bemnefits del FlexTRAK-WF Sistema al Plasma sono:

  • Doppio stazioni di carico cassetta per minimizzare i tempi di inattività
  • Multi-size allineatore con hardware in grado minimo di commutazione necessari
  • Robusto motore di wafer robotica
  • Wafer di riconoscimento integrato per la gestione di wafer di alta affidabilità
  • Il design compatto riduce al minimo ingombro
  • Trattamento altamente uniforme e un throughput veloce

Il sistema brevettato FlexTRAK plasma design della camera offre eccezionale uniformità etch e la ripetibilità del processo. Applicazioni di plasma primaria includono una varietà di incisione, incenerimento, e passi descum. Tra gli altri processi al plasma rimozione contaminazione, irruvidimento superficiale, bagnabilità in aumento, e migliorando l'incollaggio e la forza di adesione.

Applicazioni

Wafer alla trasformazione prima della tipica di back-end passi confezionamento - adatto per wafer-level imballaggio, flip chip, o imballaggi tradizionali.

Wafer di pulizia

  • Eliminare la contaminazione prima di wafer urti
  • Eliminare la contaminazione organica
  • Fluoro e rimuovere la contaminazione di altri alogeni
  • Rimuovere ossidi metallici e metallo
  • Migliorare spun-on film di adesione
  • Pulire alluminio legame pastiglie

Wafer Acquaforte

  • Wafer Descum di photoresist residuo / BCB
  • Dielettrico strati modello per la ridistribuzione
  • Striscia / photoresist Etch
  • Migliorare l'adesione di wafer-Applied Materials
  • Rimuovere l'eccesso di wafer-applicato stampo / resina epossidica
  • Migliorare l'adesione di oro, urti saldatura
  • Destress wafer per ridurre le rotture
  • Migliorare spun-on film di adesione
  • Pulire alluminio legame pastiglie

Last Update: 4. October 2011 14:20

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