FlexTRAK-WF Plasma Treatment Systeem van Nordson

De FlexTRAK-WF Plasma System is ontworpen voor high-throughput verwerking van de halfgeleider wafers (en andere platte substraten) in de maten variërend van 3 inch tot 200 mm (8 inch) in diameter, voor wafers in open cassettes.

Eigenschappen en voordelen

Functies en bemnefits van de FlexTRAK-WF Plasma-systeem zijn onder andere:

  • Dubbele cassette stations op stationair te minimaliseren
  • Multi-formaat die in staat aligner met minimale hardware change-over nodig
  • Robuuste robotachtige wafer motor
  • Geïntegreerde wafer erkenning voor hoge betrouwbaarheid wafer handling
  • Compact ontwerp minimaliseert vloeroppervlak
  • Zeer uniforme behandeling en snelle doorvoer

De gepatenteerde FlexTRAK plasma-kamer-ontwerp biedt uitzonderlijke etsen uniformiteit en proces herhaalbaarheid. Primaire plasma toepassingen zijn onder meer een groot aantal etsen, verassing, en descum stappen. Andere plasma-processen omvatten verontreiniging verwijderen, het oppervlak opruwen, het verhogen van bevochtigbaarheid en het vergroten van binding en hechting kracht.

Toepassingen

Wafer processing voorafgaand aan de typische back-end verpakkingen stappen - geschikt voor wafer-level verpakking, flip-chip, of traditionele verpakking.

Wafer Reiniging

  • Verwijderen voordat verontreiniging wafer stoten
  • Verwijder organische vervuiling
  • Verwijder Fluor en andere halogeen vervuiling
  • Verwijder de metalen en metaaloxiden
  • Verbetering van gesponnen-on film hechting
  • Schoon Aluminium bond pads

Wafer Etsen

  • Descum wafer van de resterende fotolak / BCB
  • Patroon diëlektrische lagen voor herverdeling
  • Strip / Etch fotolak
  • Verbeter de hechting van wafer-toegepaste materialen
  • Verwijder overtollig wafer aangebracht mal / epoxy
  • Verbeter de hechting van goud, soldeer hobbels
  • Destress wafer om breuk te verminderen
  • Verbetering van gesponnen-on film hechting
  • Schoon Aluminium bond pads

Last Update: 4. October 2011 14:19

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this equipment listing?

Leave your feedback
Submit
Other Equipment