Site Sponsors
  • Strem Chemicals - Nanomaterials for R&D
  • Park Systems - Manufacturer of a complete range of AFM solutions
  • Oxford Instruments Nanoanalysis - X-Max Large Area Analytical EDS SDD

FlexTRAK-WF Plasma Treatment System fra Nordson

Den FlexTRAK-WF Plasma System er konstruert for high-throughput prosessering av halvledere wafere (og andre flate substrater) i størrelser fra 3 tommer til 200 mm (8 tommer) i diameter, for wafere holdt i åpen kassetter.

Funksjoner og fordeler

Funksjoner og bemnefits av FlexTRAK-WF Plasma System inkluderer:

  • Dual kassett belastning stasjoner for å minimere inaktiv tid
  • Multi-size stand aligner med minimal hardware endring-over nødvendig
  • Robust robot wafer motor
  • Integrert wafer anerkjennelse for høy pålitelighet wafer håndtering
  • Kompakt design reduserer gulvplass
  • Meget ensartet behandling og rask gjennomstrømming

Den patenterte FlexTRAK plasma kammer design gir eksepsjonell etch ensartethet og prosess repeterbarhet. Primær plasma applikasjoner inkluderer en rekke etsing, ashing, og descum trinn. Andre plasma prosesser omfatter forurensning fjerning, overflate oppruing, økende fukting, og styrke liming og vedheft styrke.

Søknader

Wafer behandling før typisk back-end emballasje trinn - egnet for wafer-nivå emballasje, flip chip, eller tradisjonell innpakning.

Wafer Rengjøring

  • Fjern forurensning før wafer bumping
  • Fjern organisk forurensning
  • Fjern Fluor og andre halogen forurensning
  • Fjern metall og metalloksider
  • Forbedre spunnet-on film vedheft
  • Rengjør aluminium obligasjon pads

Wafer Etsing

  • Descum wafer av gjenværende fotoresist / BCB
  • Mønster dielektrisk lag for omfordeling
  • Strip / Etch fotoresist
  • Forbedre adhesjon av wafer-Applied Materials
  • Fjern overflødig wafer-anvendt mugg / epoxy
  • Forbedre vedheft av gull, loddetinn humper
  • Destress wafer å redusere brekkasje
  • Forbedre spunnet-on film vedheft
  • Rengjør aluminium obligasjon pads

Last Update: 4. October 2011 14:19

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this equipment listing?

Leave your feedback
Submit
Other Equipment