FlexTRAK-WF плазменной обработки системы от Nordson

FlexTRAK-WF Плазменные Система предназначена для высокой пропускной способностью обработки полупроводниковых пластин (и другие плоские подложки) в размерах от 3 дюймов до 200 мм (8 дюймов) в диаметре, для вафель состоялись в рамках открытого кассет.

Особенности и преимущества

Особенности и bemnefits из FlexTRAK-WF системы Плазменные включают в себя:

  • Двойная нагрузка станции кассету, чтобы минимизировать простой
  • Multi-размера способны выравниватель с минимальным аппаратным переход требуется
  • Надежный двигатель робота пластины
  • Комплексная признание пластины для высокой надежности обработки пластин
  • Компактная конструкция сводит к минимуму площадь
  • Высоко равномерное лечения и высокой пропускной

Запатентованной FlexTRAK плазменной камеры конструкция обеспечивает исключительную равномерность травления и обработки повторяемость. Основные области применения плазменной включают в себя различные травления, озоления и Descum шагов. Другие плазменные процессы включают загрязнение удаление, поверхность шероховатой, повышение смачиваемости и повышения сцепления и прочность сцепления.

Применения

Вафельные обработки до типичных фоновых упаковки шаги - подходит для вафельных уровне упаковки, флип-чип, или традиционной упаковкой.

Вафли Очистка

  • Удаление загрязнений перед пластины натыкаясь
  • Удаление органических загрязнений
  • Удалить фтора и других загрязнений галогенные
  • Удалить металла и оксидов металлов
  • Улучшение выделяемых на пленке адгезии
  • Чистая прокладки алюминиевого связь

Вафельные Офорт

  • Descum пластины остаточной фоторезиста / BCB
  • Pattern диэлектрических слоев для перераспределения
  • Газа / Etch фоторезиста
  • Повышение адгезии пластины применяемых материалов
  • Удалите излишки пластин-прикладного формы / эпоксидной
  • Повышение адгезии золота, припой шишки
  • Destress пластины сократить разрыв
  • Улучшение выделяемых на пленке адгезии
  • Чистая прокладки алюминиевого связь

Last Update: 4. October 2011 14:19

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this equipment listing?

Leave your feedback
Submit
Other Equipment