Etcher-Calcinateur-Nettoyeur de Plasma - Le K1050X des Technologies de Quorum

Etcher/Calcinateur/Nettoyeur de Plasma de K1050X est un réacteur de baril de plasma de RF conçu pour répondre aux besoins de la recherche et développement et de la production à petite échelle pour un grand et divers choix gravure de plasma, une incinèration de plasma et des applications modernes et semi-conducteurs de nettoyage de plasma.

Fonctionnalités Clé

Les Fonctionnalités clé Etcher/de Calcinateur/de Nettoyeur de Plasma des Technologies K1050X de Quorum comprennent :

  • Type stade de Tiroir de spécimen - donne l'accès pratique facile de spécimen
  • Microcontrôleur : entièrement programmable par la téléphoniste - facile, fonctionnement flexible
  • Fonctionnement Complètement Automatique
  • Bloc d'alimentation semi-conducteur Moderne de RF - robuste et fiable
  • Ajustement Automatique de l'alimentation électrique avant et réfléchie - assure des conditions optimas d'alimentation électrique pour l'incinèration de plasma et les protocoles gravure de plasma
  • Écran LCD - la téléphoniste voit toutes les conditions (aspirateur, alimentation électrique de RF, temps écoulé) lors du fonctionnement
  • Deux compteurs de débit de gaz - permet le contrôle précis et le mélange des gaz de processus, particulièrement utiles pour des procédés gravure de plasma
  • Pompe-vers le bas à l'aspirateur prédéterminé avant d'admettre des gaz
  • Contrôle d'Évent - le bruit minimal de spécimen, particulièrement utile pour la fin plasma-a incinéré des spécimens
  • Garantie De Trois Ans

Last Update: 7. March 2012 21:19

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