Etcher/Calcinador/Líquido De Limpeza do Plasma de K1050X são um reactor do tambor do plasma do RF projetado cumprir as exigências da investigação e desenvolvimento e da produção em escala reduzida para uma escala larga e variada gravura a água-forte do plasma, uma incineração do plasma e umas aplicações modernos, de circuito integrado da limpeza do plasma.
Características Chaves
As características Chaves Etcher/Calcinador/Líquido De Limpeza do Plasma das Tecnologias K1050X do Quorum incluem:
- Tipo fase da Gaveta do espécime - dá o acesso conveniente fácil do espécime
- Microcontrolador: inteiramente programável pelo operador - fácil, operação flexível
- Operação Totalmente automático
- Fonte de alimentação de circuito integrado Moderna do RF - áspera e segura
- Ajustamento Automático da potência dianteira e refletida - assegura condições as melhores da potência para a incineração do plasma e os protocolos gravura a água-forte do plasma
- Indicador do LCD - o operador vê todas as circunstâncias (vácuo, potência do RF, tempo decorrido) durante a operação
- Dois medidores de fluxo do gás - permite o controle preciso e a mistura de gáss do processo, especialmente úteis para processos gravura a água-forte do plasma
- Bomba-para baixo ao vácuo predeterminado antes de admitir gáss
- Controle do Respiradouro - distúrbio mínimo do espécime, especialmente útil para espécimes plasma-incinerados finos
- Garantia De Três Anos