K1050X 等离子蚀刻师/灰粉/擦净人是一种现代,固体 RF 等离子枪管反应器被设计的符合研究与开发和小规模生产的要求的等离子蚀刻的一个宽和各种各样的范围,等离子变成灰烬和等离子清洁应用。
关键功能
分区技术 K1050X 等离子蚀刻师/灰粉/擦净人的关键功能包括:
- 出票人典型标本阶段 - 允许容易的方便标本访问
- 微型控制器: 充分地可编程序由容易的运算符 -,灵活的运算
- 全自动机械的运算
- 可靠现代固体 RF 的供电 - 坚固性和
- 自动调整转接和被反射的电源保证等离子变成灰烬和等离子蚀刻协议的最佳功率条件
- LCD 显示 - 运算符在运算时看到所有情况 (真空、 RF 功率,经过时间)
- 二支气体流量计 - 允许准确的控制和混合处理气体,特别有用为等离子蚀刻进程
- 对预先确定的真空的泵下来在承认气体前
- 出气孔控制 - 最小的标本干扰,特别有用为细致的等离子变成灰烬的标本
- 三年的保修单