Elektromagnet-Basierte Kälteerzeugende Fühler-Station - See-Ufer-Baumuster EMPX-HF

Das Baumuster EMPX-HF ist eine vielseitige kälteerzeugende Elektromagnet-basierte mikro-manipulierte Fühlerstation, die ein für zerstörungsfreie Prüfung von den vollen Einheiten und von teilweisen Wafers bis 25 mm (1 herein) verwendet wird im Durchmesser. Das EMPX-HF ist eine Plattform für Maß Maschinetransport, elektrischem, elektrooptischem, parametrischem, hohem Z, des GLEICHSTROMES, der HFS und der Mikrowelleneigenschaften der Materialien und der Versuchseinrichtungen. Nanoscale-Elektronik, Quantumskabel und -punkte, Halbleiter, Supraleiter und spintronic Einheiten sind die typischen Materialien, die in einem EMPX-HF gemessen werden. Eine breite Auswahl von Fühlern, von Kabeln, von Beispielhalterungen und von Optionen macht es möglich, das EMPX-HF zu konfigurieren, um Ihre spezifischen Maßanwendungen zu treffen.

Montiert an einem Schwingungsisolierungstisch, wird das EMPX-HF mit einem kOe 5,5 ausgerüstet (0,55 T) horizontales (auf gleicher Ebene) Bereichelektromagnet. Das EMPX-HF funktioniert über einer Temperaturspanne 4,5 K bis 400 K. Mit Optionen kann die falsche Temperatur bis 3,2 K. unten ausgedehnt werden. Die Fühlerstation versorgt effiziente Temperaturoperation und -regelung mit einer kontinuierlichen Kühlanlage entweder unter Verwendung des flüssigen Heliums oder des flüssigen Stickstoffes. Abhängige Maße des Bereichs sind bei Raumtemperatur ohne den Gebrauch von cryogens möglich. Flüssiges Helium wird nur für das Abkühlen der Einheit in Versuch (DUT) unterhalb zur 80 K. Dampf-Abgekühlten Abschirmung optimiert Leistungsfähigkeit und abfängt Strahlung des schwarzen Körpers gefordert, bevor es die Probe erreicht. Eine Heizung auf der Beispielstufe zusammen mit unabhängiger Regelung von Strahlungsschildheizungen versieht die Fühlerstation mit schneller thermischer Antwort.

Das EMPX-HF ist der Benutzer, der mit bis vier ultra-stabilen mikro-manipulierten Stufen, jede zur Verfügung stellende genaue Regelung mit 3 Schwerpunkten der Fühlerstellung konfiguriert wird, die Fühlerspitze auf Einheitsmerkmalen genau zu landen. Die Stufenrotationsoption des Beispiel 360° erlaubt Ihnen, eckig-abhängige und anisotrope Maschinetransport Eigenschaften des DUT zu messen. Eigene Fühlerspitzen in einer Vielzahl von Größen und von Materialien setzen thermische Masse herab und optimieren elektrische Kontakte zum DUT. Fühlerspitzen werden thermisch mit der Beispielstufe verbunden, um Wärmeübertragung auf das DUT herabzusetzen.

Für erhöhte Vielseitigkeit umfassen EMPX-HF Optionen eine Stufe falscher Temperatur von 3,2 K, Stufenrotation des Beispiel- 360°, Satz des Dewar LN2, höheres Vergrößerungsmikroskop, Pumpsystem Vakuum-Turbos, PumpeLineschwingungsdämpfer und rezirkulieren Kühler und Faseroptikfühlerwaffenmodifikation.

Merkmale Fühler-der Station des Baumuster-EMPX-HF:

  • kOe 5,5 (0,55 T) horizontales (auf gleicher Ebene) Bereichelektromagnet
  • Stufenrotationsoption des Beispiel 360°
  • Hohe Stabilitätsoperation von 3,2 K bis 400 K
  • Maße von GLEICHSTROM zu 67 Gigahertz
  • Passt Durchmesserwafers bis 25 mm (1 herein) an
  • Konfigurierbar mit thermisch verankertem mikro-manipuliertem Fühler bis vier armiert
  • Prüfen Sie Waffen mit 3 Schwerpunktseinstellungen und ±5°-Theta planarization
  • Kabel, Schilder und Abdeckungen setzen elektrische Geräusche und Wärmestrahlungsverluste herab
  • Optionen und Zubehör für Kundenbezogenheit zum spezifischen Forschungsbedarf

Last Update: 5. September 2012 11:46

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