전자석 기지를 둔 저온 탐사기 역 - 호수 해안 모형 EMPX-HF

모형 EMPX-HF는 직경에서 가득 차있는 장치 위에 사용된 다재다능한 저온 전자석 기지를 둔 마이크로 조작한 탐사기 역과 부분적인 웨이퍼의 비파괴적인 테스트에 25까지 mm (1 안으로)입니다. EMPX-HF는 물자와 시험 장치의 자석발전기 수송, 전기, 전기 광학, 매개 변수, 높은 Z, DC, RF 및 마이크로파 속성의 측정을 위한 플래트홈입니다. Nanoscale 전자공학, 양 철사 및 점, 반도체, superconductors 및 spintronic 장치는 EMPX-HF에서 측정된 전형적인 물자입니다. 탐사기, 케이블, 견본 홀더 및 선택권의 다양한 종류는 특정 측정 응용을 충족시키기 위하여 EMPX-HF를 구성하게 가능하게 합니다.

진동 격리 테이블에 거치해, EMPX-HF는 5.5 kOe로 갖춰집니다 (0.55 T) 수평한 (에서 비행기) 필드 전자석. EMPX-HF는 400 K.에 4.5 K의 온도 편차에 작동합니다. 선택권으로, 기준 온도는 3.2 K.까지 아래로 확장될 수 있습니다. 탐사기 역은 액체 헬륨 또는 액체 질소를 사용하여 지속적인 냉장계를 가진 능률적인 온도 작동 그리고 통제를 제공합니다. 주위 온도에 필드 의존하는 측정은 cryogens의 사용 없이 가능합니다. 액체 헬륨은 80의 K.에 의하여 수증기 냉각된 보호 이하에 시험 상황에서 (DUT) 장치 냉각을 위해서만 견본을 도달하기 전에 낙관하고 효율성을 차단합니다 흑체 방사선을 요구됩니다. 방사선 방패 히이터의 단독 제어와 더불어 견본 단계에 히이터는 단단 열 반응을 탐사기 역을 제공합니다.

EMPX-HF는 정확하게 장치 특징에 탐사기 끝을 도착하는 4개까지 매우 안정되어 있는 마이크로 조작한 단계로 구성된 사용자, 탐사기 위치의 각 제공 정확한 3 측 통제 입니다. 360° 견본 단계 교체 선택권은 DUT의 모나 의존하고는 이방성 자석발전기 수송 속성을 측정하는 것을 허용합니다. 다양한 규모 및 물자에 있는 소유 탐사기 끝은 열 질량을 극소화하고 DUT에 전기적 접점을 낙관합니다. 탐사기 끝은 견본 단계에 열로 DUT에 열전달을 극소화하기 위하여 연결됩니다.

증가한 다양성을 위해, EMPX-HF 선택권은 3.2 K 기준 온도 단계, 360° 견본 단계 교체, LN2 Dewar 장비, 더 높은 확대 현미경, 진공 터보 양수 시스템, 펌프 선 진동 절연체를, 냉각장치 및 광섬유 탐사기 무기 수정을 recirculating 포함합니다.

모형 EMPX-HF 탐사기 역의 특징:

  • 5.5 kOe (0.55 T) 수평한 (에서 비행기) 필드 전자석
  • 360° 견본 단계 교체 선택권
  • 3.2 K에서 400 K에 높은 안정성 작동
  • DC에서 67 GHz에 측정
  • 25까지 mm (1 안으로) 직경 웨이퍼를 수용합니다
  • 4까지 열로 정박한 마이크로 조작한 탐사기에 설정 가능한 무장합니다
  • 3 측 조정 및 ±5° 시타 planarization를 가진 무기를 시험하십시오
  • 케이블, 방패 및 가드는 전기 소음 및 열 복사 손실을 극소화합니다
  • 특정 연구 필요에 주문화를 위한 선택권 그리고 부속품

Last Update: 5. September 2012 11:47

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