大きい 4 インチのウエファーのための低温学のプローブ端末 - 湖の海岸モデル FWPX

大きい 4 インチのウエファーのための低温学のプローブ端末 - 湖の海岸モデル FWPX

モデル FWPX は直径で完全な装置使用する多目的な低温学のマイクロ処理されたプローブ端末および部分的なウエファーの非破壊的なテストに 102 までの mm (4) です。 FWPX の低温学のプローブ端末は材料およびテスト装置の電気、電気光学、パラメーター付き、高い Z、 DC、 RF およびマイクロウェーブ特性の測定のためのプラットホームです。 Nanoscale の電子工学、量のワイヤーおよび点および半導体は FWPX で測定される典型的な材料です。 プローブ、ケーブル、サンプルホールダーおよびオプションの幅広い選択は特定の測定アプリケーションに会うために FWPX を設定することを可能にします。

FWPX は 475 K. に 4.5 K の温度較差に動作します。 オプションを使うと、基準温度は 3.5 K. に拡張することができます。 プローブ端末はヘリウムか窒素を使用して連続的な冷房装置との効率的な温度操作そして制御を提供します。 蒸気冷却された保護はサンプルに達する前に効率を最適化し、黒体放射を代行受信します。 サンプル段階の 2 つの制御ヒーターは、放射の盾のヒーターと共に、サンプルを渡る気温傾度を最小化し、速い熱応答をプローブ端末に与えます。

FWPX は 6 つまでの超安定したマイクロ処理された段階、プローブの位置の各々の提供の精密な 3 軸線制御と正確に装置機能のプローブの先端を上陸させるためにユーザー設定されます。 サンプル段階は段階の斧が付いているパターンのアラインメントを可能にするために内部平面の変換および回転を提供します。 いろいろなサイズおよび材料の専有プローブの先端は熱大容量を最小化し、装置にテストの下で電気接触を最適化します (DUT)。 プローブの先端はサンプル段階に熱的に DUT への熱伝達を最小化するためにリンクされます。

高められた多様性のために、 FWPX オプションは 3.5 K の基準温度の段階、 LN2 Dewar キットを、ポンプライン振動アイソレーター、より高い拡大の顕微鏡、真空のターボポンプ施設管理および光ファイバプローブアーム修正含んでいます。

主要特点

モデル FWPX 低温学のプローブ端末の主要特点は下記のものを含んでいます:

  • 3.5 K からの 475 K への安定性が高い操作
  • DC からの 67 の GHz への測定
  • 102 までの mm (4) の直径のウエファーを取り扱います
  • 6 つまでの熱的に固定されたマイクロ処理されたプローブと設定可能武装します
  • 3 軸線の調節および ±5° のΘの planarization のアームを厳密に調べて下さい
  • 内部平面の変換および ±5° の内部平面の回転を用いる段階を見本抽出して下さい
  • ケーブル、盾および警護は電気騒音および熱放射の損失を最小化します
  • 特定の研究の必要性へのカスタマイゼーションのためのオプションそしてアクセサリ

Last Update: 5. September 2012 11:46

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