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Präzision OberflächenMetrologie-Optisches Berührungsfreies Auswerteprogramm - Zeta 300 von den Zeta-Instrumenten

Das suface Zeta-300 Metrologiehilfsmittel stellt integrale akustische Isolierung zur Verfügung, um die Effekte des Ton- und Luftzugs zu verringern auf Beispielmaßen. Als, Daten bezüglich der Zellen erfassend, die weniger als hohes 1µm sind, sogar, verursachten kleine Schwingungen durch Ton und Luftstörungen können Ihre Ergebnisse beeinflussen. Verbunden mit einem wahlweiseisolierungstisch, entbindet das Zeta-300 die Genauigkeit und Wiederholbarkeit, die durch andere optische Auswerteprogramme nicht angepasst sind.

Flexible Kleinteil-u. Softwarezusätze

In der Forschung ist es häufig unvorhersehbar, welches Baumuster der Oberfläche Sie messen müssen. In diesem Sinne hat das Zeta-300 eine modulear Auslegung, die eine breitere Reichweite der Kleinteilmaßoptionen sowie der Anwendungspakete zulässt:

  • Dicke Spektrometer
  • QDIC/Nomarski für Nmschuppe Rauheit
  • hybrides Lernziel des Interferometers iX5
  • Piezo Stufe für Z-Auflösung 3nm
  • Neigetische, Beispielhalterungen und Unterdruckspannvorrichtungen
  • Selbstmerkmal entdeckt/Maßnahmesoftware
  • Selbstflächeberechnung, statistische Analyse
  • … und viel mehr!

Anwendung-Specifific Metrologie

Das Metrologiehilfsmittel der Oberfläche Zeta-300 wird zu den Anwendungen entsprochen, wie unten umrissen.

LED-, PSS- u. PEC-Analyse

  • SelbstHöhe, Durchmesser u. Abstand für PSS
  • Analysieren Sie Fotoresist- oder NachätzungsPSS Stöße
  • Selbstmerkmal entdecken, Rauheit für nach--epi MESA-Analyse
  • 2", 4" u. 6" Waferunterdruckspannvorrichtungen

Solarzellen- und Waferanalyse

  • SelbstFinger-Höhe, Breite u. Volumen
  • Polysilizium und Mono-Si Fläche u. Beschaffenheit
  • Silikon-Nitrid AR-Dicke
  • Multistationierter und Selbstfinger entdecken
  • 156mm Solarwaferunterdruckspannvorrichtung

Mikro-Fluidik und MEMS-Analyse

  • Transparentes Multioberfläche Ein Profil erstellen
  • Tiefer Graben/wohles u. hohes Längenverhältnismerkmalsein profil erstellen
  • Programmierbare Cursors und Querschnitte

EZ-Metrologie

  • Multistationierte Reihenfolgen u. Bild multi-FOV 3D, die mit autostage Option nähen
  • SelbstSteigungs- u. Welligkeitsausgleich
  • SelbstOberflächennivellieren
  • SelbstMerkmalshöhe, Abmessungen, Winkel, Bereich
  • Lineare und Flächenselbstrauheit

 

 

Last Update: 16. July 2013 07:47

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