Profiler Sin Contacto Óptico de la Metrología Superficial de la Precisión - Zeta 300 de los Instrumentos de la Zeta

La herramienta de la metrología del suface Zeta-300 proporciona al aislamiento acústico integral para reducir los efectos de las corrientes del sonido y de aire en mediciones de la muestra. Al recopilar datos sobre las estructuras que son menos el de 1µm alto, incluso las pequeñas vibraciones causaron por el sonido y las dispersiones del aire pueden afectar a sus resultados. Acoplado con un vector opcional del aislamiento, el Zeta-300 entrega la exactitud y la repetibilidad incomparables por otros profilers ópticos.

Opciones Flexibles del Soporte Físico y de Software

En la investigación, es a menudo imprevisible qué tipo de superficie usted necesitará medir. Con esto en mente, el Zeta-300 tiene un diseño modulear que permita una gama más amplia de las opciones de la medición de la dotación física así como de los paquetes de programas informáticos:

  • Espectrómetro del Espesor Del Film
  • QDIC/Nomarski para la tosquedad de la nanómetro-escala
  • objetivo híbrido del interferómetro iX5
  • Escenario Piezoeléctrico para la Z-Resolución 3nm
  • Escenarios de la Inclinación, casquillos de la muestra y mandriles del vacío
  • La característica Auto detecta/el software de la dimensión
  • Cálculo Auto de la superficie, análisis estadístico
  • ¡… y mucho más!

Metrología de la Aplicación-Specifific

La herramienta de la metrología de la superficie Zeta-300 se adapta a las aplicaciones según lo contorneado abajo.

Análisis del LED, de PSS y de la CPE

  • Altura, Diámetro y Tono Autos para PSS
  • Analice los topetones de la fotoprotección o del poste-grabado de pistas PSS
  • La característica Auto detecta, tosquedad para el análisis del mesa del poste-epi
  • 2", 4" y 6" mandriles del vacío del fulminante

Análisis de la célula Solar y del fulminante

  • Altura, Ancho y Volumen Autos del Dedo
  • Superficie Polivinílico-Si y Mono-Si y Textura
  • Espesor Del Film de AR del Silicio-Nitruro
  • el Multi-Sitio y el dedo auto detectan
  • mandril solar del vacío del fulminante de 156m m

Micro-Fluídica y análisis de MEMS

  • Perfilado Transparente de la multi-superficie
  • Foso Profundo/perfilado bien y alto de la característica de la relación de aspecto
  • Cursores y cortes transversales Programables

Metrología de EZ

  • series del Multi-Sitio y imagen multi-FOV 3D que cosen con la opción del autostage
  • Remuneración Auto del Declive y de la ondulación
  • Nivelación Auto de la Superficie
  • Altura Auto de la Característica, dimensiones, ángulo, área
  • Tosquedad Lineal y regional Auto

 

 

Last Update: 16. July 2013 07:50

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