Profilatore Senza Contatto Ottico di Metrologia Di Superficie di Precisione - Zeta 300 dagli Strumenti della Zeta

Lo strumento della metrologia del suface Zeta-300 fornisce l'isolamento acustico integrale per diminuire gli effetti delle correnti di aria e del suono sulle misure del campione. Nel riunire i dati sulle strutture che sono meno di 1µm alto, anche le piccole vibrazioni hanno causato dal suono e le perturbazioni dell'aria possono pregiudicare i vostri risultati. Accoppiato con una tabella facoltativa di isolamento, lo Zeta-300 consegna l'accuratezza e la ripetibilità ineguagliate da altri profilatori ottici.

Opzioni Flessibili di Software & del Hardware

Nella ricerca, è spesso imprevedibile che tipo di superficie dovrete misurare. A tal fine, lo Zeta-300 ha una progettazione modulear che tiene conto una più vasta gamma di opzioni di misura del hardware come pure di pacchetti di programmi:

  • Spettrometro di Spessore di Pellicola
  • QDIC/Nomarski per rugosità del nanometro-disgaggio
  • obiettivo ibrido dell'interferometro iX5
  • Fase Piezo-elettrica per Z-Risoluzione 3nm
  • Fasi di Inclinazione, supporti del campione e mandrini di vuoto
  • La funzionalità Automatica individua/software della misura
  • Calcolo Automatico di area, analisi statistica
  • … e molto più!

Metrologia di Applicazione-Specifific

Lo strumento della metrologia della superficie Zeta-300 è adatto alle applicazioni come descritto sotto.

Analisi del LED, di PSS & del PEC

  • Altezza, Diametro & Passo Automatici per PSS
  • Analyze foto-resiste a o gli urti della post-incissione all'acquaforte PSS
  • La funzionalità Automatica individua, la rugosità per l'analisi post--epi di MESA
  • 2", 4" & 6" mandrini di vuoto del wafer

Analisi del wafer e della pila Solare

  • Altezza, Larghezza & Volume Automatici della Barretta
  • Silicio policristallino ed Area & Tessitura di Mono-Si
  • Spessore di Pellicola dell'AR del Silicio-Nitruro
  • il Multi-Sito e la barretta automatica individuano
  • mandrino solare di vuoto del wafer di 156mm

Micro-Fluidics ed analisi di MEMS

  • Delineamento Trasparente della multi-superficie
  • Fossa Profonda/delineamento buono & alto della funzionalità di allungamento
  • Cursori Programmabili e sezioni trasversali

Metrologia di EZ

  • sequenze del Multi-Sito & immagine multi-FOV 3D che cucono con l'opzione di autostage
  • Compensazione Automatica di ondosità & del Pendio
  • Livellamento Automatico della Superficie
  • Altezza Automatica della Funzionalità, dimensioni, angolo, area
  • Rugosità Lineare ed areale Automatica

 

 

Last Update: 16. July 2013 07:47

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