Lo strumento della metrologia del suface Zeta-300 fornisce l'isolamento acustico integrale per diminuire gli effetti delle correnti di aria e del suono sulle misure del campione. Nel riunire i dati sulle strutture che sono meno di 1µm alto, anche le piccole vibrazioni hanno causato dal suono e le perturbazioni dell'aria possono pregiudicare i vostri risultati. Accoppiato con una tabella facoltativa di isolamento, lo Zeta-300 consegna l'accuratezza e la ripetibilità ineguagliate da altri profilatori ottici.
Opzioni Flessibili di Software & del Hardware
Nella ricerca, è spesso imprevedibile che tipo di superficie dovrete misurare. A tal fine, lo Zeta-300 ha una progettazione modulear che tiene conto una più vasta gamma di opzioni di misura del hardware come pure di pacchetti di programmi:
- Spettrometro di Spessore di Pellicola
- QDIC/Nomarski per rugosità del nanometro-disgaggio
- obiettivo ibrido dell'interferometro iX5
- Fase Piezo-elettrica per Z-Risoluzione 3nm
- Fasi di Inclinazione, supporti del campione e mandrini di vuoto
- La funzionalità Automatica individua/software della misura
- Calcolo Automatico di area, analisi statistica
- … e molto più!
Metrologia di Applicazione-Specifific
Lo strumento della metrologia della superficie Zeta-300 è adatto alle applicazioni come descritto sotto.
Analisi del LED, di PSS & del PEC
- Altezza, Diametro & Passo Automatici per PSS
- Analyze foto-resiste a o gli urti della post-incissione all'acquaforte PSS
- La funzionalità Automatica individua, la rugosità per l'analisi post--epi di MESA
- 2", 4" & 6" mandrini di vuoto del wafer
Analisi del wafer e della pila Solare
- Altezza, Larghezza & Volume Automatici della Barretta
- Silicio policristallino ed Area & Tessitura di Mono-Si
- Spessore di Pellicola dell'AR del Silicio-Nitruro
- il Multi-Sito e la barretta automatica individuano
- mandrino solare di vuoto del wafer di 156mm
Micro-Fluidics ed analisi di MEMS
- Delineamento Trasparente della multi-superficie
- Fossa Profonda/delineamento buono & alto della funzionalità di allungamento
- Cursori Programmabili e sezioni trasversali
Metrologia di EZ
- sequenze del Multi-Sito & immagine multi-FOV 3D che cucono con l'opzione di autostage
- Compensazione Automatica di ondosità & del Pendio
- Livellamento Automatico della Superficie
- Altezza Automatica della Funzionalità, dimensioni, angolo, area
- Rugosità Lineare ed areale Automatica