정밀도 지상 도량형학 광학적인 몸의 접촉이 없는 프로 파일러 - Zeta 계기에서 Zeta 300

Zeta 300 suface 도량형학 공구는 견본 측정에 완전한 청각적인 소리와 기류의 효력을 감소시키기 위하여 격리를 제공합니다. 높은 1µm 미만 인 구조물에 데이터를 모일 때, 작은 진동 조차 소리에 의하여 일으키는 원인이 되고 공기 소요는 결과에 영향을 미칠 수 있습니다. 선택적인 격리 테이블로 결합해, Zeta 300는 그밖 광학적인 프로 파일러에 의하여 필적할 수 없은 정확도와 반복성을 전달합니다.

유연한 하드웨어 & 소프트웨어 선택

연구에서는, 그것은 어떤 타입의 표면을 측정할 필요가 있을지 수시로 예측할 수 없습니다. 이를 고려해 볼 때, Zeta 300에는 기계설비 측정 선택권 뿐 아니라 소프트웨어 꾸러미의 광범위를 허용하는 modulear 디자인이 있습니다:

  • 필름 간격 분광계
  • 나노미터 가늠자 소밀을 위한 QDIC/Nomarski
  • iX5 잡종 간섭계 목적
  • 3nm Z 해결책을 위한 Piezo 단계
  • 경사 단계, 견본 홀더 및 진공 물림쇠
  • 자동 특징/측정 소프트웨어는 검출합니다
  • 자동 표면 계산, 통계 분석
  • … 그리고 매우 더 많은 것!

응용 Specifific 도량형학

Zeta 300 표면 도량형학 공구는 아래에 요약된대로 응용에 적응됩니다.

LED, PSS & PEC 분석

  • PSS를 위한 자동 고도, 직경 & 피치
  • 감광저항 또는 지점 식각 PSS 융기를 분석하십시오
  • 자동 특징은, 지점 epi mesa 분석을 위한 소밀 검출합니다
  • 2", 4" & 6" 웨이퍼 진공 물림쇠

태양 전지 및 웨이퍼 분석

  • 자동 핑거 고도, 폭 & 양
  • 많 Si와 단청 Si 표면 & 짜임새
  • 실리콘 질화물 AR 필름 간격
  • 다중 사이트와 자동 핑거는 검출합니다
  • 156mm 태양 웨이퍼 진공 물림쇠

마이크로 응용 유체 역학과 MEMS 분석

  • 투명한 다중 표면 윤곽을 그리기
  • 깊은 트렌치/좋고 & 높은 종횡비 특징 윤곽을 그리기
  • 풀그릴 커서 및 단면

EZ 도량형학

  • autostage 선택권으로 바느질하는 다중 사이트 순서 & 다중 FOV 3D 심상
  • 자동 사면 & waviness 대상
  • 자동에게 표면 수평하게 하기
  • 자동 특징 고도, 차원, 각, 지역
  • 자동 선형과 면적 소밀

 

 

Last Update: 16. July 2013 07:48

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