Het Optische niet-Contact Profiler van de Metrologie van de Oppervlakte van de Precisie - Zeta 300 van Zeta Instrumenten

Het Optische niet-Contact Profiler van de Metrologie van de Oppervlakte van de Precisie - Zeta 300 van Zeta Instrumenten

Het zeta-300 suface metrologiehulpmiddel verstrekt integrale akoestische isolatie om de gevolgen te verminderen van geluid en tochten voor steekproefmetingen. Wanneer zich het verzamelen kunnen de gegevens over structuren die minder dan hoge 1µm zijn, zelfs kleine trillingen die door geluid en luchtstoringen worden veroorzaakt uw resultaten beïnvloeden. Gekoppeld aan een facultatieve isolatielijst, leveren zeta-300 nauwkeurigheid en herhaalbaarheid onovertroffen door andere optische profilers.

De Flexibele Opties van de Hardware & van de Software

In onderzoek, is het vaak onvoorspelbaar welk type van oppervlakte zult moeten meten u. Daartoe, hebben zeta-300 een modulear ontwerp dat voor een bredere waaier van de opties van de hardwaremeting evenals softwarepakketten toestaat:

  • De Spectrometer van de Dikte van de Film
  • QDIC/Nomarski voor nanometer-schaal ruwheid
  • iX5 hybride interferometerdoelstelling
  • Piezo stadium voor 3nm z-Resolutie
  • De stadia van de Schuine Stand, steekproefhouders en vacuümklemmen
  • De Auto eigenschap ontdekt/meet software
  • Auto oppervlakteberekening, statistische analyse
  • … en veel meer!

Het Huldeblijk van de Gebruiker

De diversiteit en de snelheid van Zeta zijn onovertroffen kwaliteiten van dit systeem die het in het laboratorium onontbeerlijk maken. De klantendienst is snel en hielp ons zelfs met de meest unieke en speciale verzoeken die wij, met inbegrip van persoonlijke softwareupdates hebben gehad.

Florian Stumpf, Fraunhofer Instituut IISB, Duitsland

Download de Brochure voor Meer Informatie

Metrologie toepassing-Specifific

Het hulpmiddel van de zeta-300 oppervlaktemetrologie is geschikt voor toepassingen zoals hieronder geschetst.

GELEID, ANALYSE PSS & PEC

  • Auto Hoogte, Diameter & Hoogte voor PSS
  • Analyseer photo-resist of post-ets builen PSS
  • De Auto eigenschap ontdekt, ruwheid voor post-epi mesaanalyse
  • 2“, 4“ & 6“ wafeltje vacuümklemmen

Zonnecel en wafeltjeanalyse

  • De Auto Hoogte, de Breedte & het Volume van de Vinger
  • Oppervlakte poly-Si en mono-Si & Textuur
  • Silicium-nitride de Dikte van de Film van AR
  • De Multisite en autovinger ontdekt
  • 156mm zonnewafeltje vacuümklem

Micro-Fluïdica en analyse MEMS

  • Het Transparante multi-oppervlakte profileren
  • Diepe geul/goed & hoge aspectverhouding eigenschap het profileren
  • Programmeerbare curseurs en dwarsdoorsneden

EZ Metrologie

  • Multisite opeenvolgingen & het 3D beeld multi-gezichtsveld stikken met autostageoptie
  • De Auto compensatie van de Helling & van de golvendheid
  • Het Auto nivelleren van de Oppervlakte
  • De Auto hoogte van de Eigenschap, afmetingen, hoek, gebied
  • Auto Lineaire en gebiedsruwheid

Last Update: 26. February 2015 12:45

Other Equipment by this Supplier