A ferramenta da metrologia do suface Zeta-300 fornece o isolamento acústico integral para reduzir os efeitos de correntes do som e de ar em medidas da amostra. Ao recolher dados nas estruturas que são menos de 1µm alto, mesmo as vibrações pequenas causaram pelo som e os distúrbios do ar podem afectar seus resultados. Acoplado com uma tabela opcional do isolamento, o Zeta-300 entrega a precisão e a repetibilidade ímpares por outros perfiladores ópticos.
Opções Flexíveis do Hardware & de Software
Na pesquisa, é frequentemente imprevisível que tipo de superfície você precisará de medir. Com isto em mente, o Zeta-300 tem um projecto modulear que permita uma escala mais larga de opções da medida do hardware assim como de pacotes de software:
- Espectrómetro da Espessura de Filme
- QDIC/Nomarski para a aspereza da nanômetro-escala
- objetivo híbrido do interferómetro iX5
- Fase Piezo para a Z-Definição 3nm
- Fases da Inclinação, suportes da amostra e mandris do vácuo
- A Auto característica detecta/software da medida
- Auto cálculo da área de superfície, análise estatística
- … e muito mais!
Metrologia da Aplicação-Specifific
A ferramenta da metrologia da superfície Zeta-300 é serida às aplicações como esboçada abaixo.
Análise do DIODO EMISSOR DE LUZ, do PSS & do CPE
- Auto Altura, Diâmetro & Passo para PSS
- Analise colisões do fotoresistente ou da cargo-gravura em àgua forte PSS
- A Auto característica detecta, aspereza para a análise do mesa do cargo-epi
- 2", 4" & 6" mandris do vácuo da bolacha
Análise da Célula solar e da bolacha
- Auto Altura, Largura & Volume do Dedo
- Poli-Si e Área De Superfície & Textura do Mono-Si
- Espessura de Filme da AR do Silicone-Nitreto
- o Multi-Local e o auto dedo detectam
- mandril solar do vácuo da bolacha de 156mm
Micro-Fluídica e análise de MEMS
- Perfilamento Transparente da multi-superfície
- Trincheira Profunda/perfilamento bom & alto da característica do prolongamento
- Cursores Programáveis e secções transversais
Metrologia de EZ
- seqüências do Multi-Local & imagem multi-FOV 3D que costuram com opção do autostage
- Auto compensação da Inclinação & do waviness
- Nivelamento da Superfície do Automóvel
- Auto altura da Característica, dimensões, ângulo, área
- Auto aspereza Linear e regional