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Perfilador Óptico do Não-Contacto da Metrologia De Superfície da Precisão - Zeta 300 dos Instrumentos do Zeta

A ferramenta da metrologia do suface Zeta-300 fornece o isolamento acústico integral para reduzir os efeitos de correntes do som e de ar em medidas da amostra. Ao recolher dados nas estruturas que são menos de 1µm alto, mesmo as vibrações pequenas causaram pelo som e os distúrbios do ar podem afectar seus resultados. Acoplado com uma tabela opcional do isolamento, o Zeta-300 entrega a precisão e a repetibilidade ímpares por outros perfiladores ópticos.

Opções Flexíveis do Hardware & de Software

Na pesquisa, é frequentemente imprevisível que tipo de superfície você precisará de medir. Com isto em mente, o Zeta-300 tem um projecto modulear que permita uma escala mais larga de opções da medida do hardware assim como de pacotes de software:

  • Espectrómetro da Espessura de Filme
  • QDIC/Nomarski para a aspereza da nanômetro-escala
  • objetivo híbrido do interferómetro iX5
  • Fase Piezo para a Z-Definição 3nm
  • Fases da Inclinação, suportes da amostra e mandris do vácuo
  • A Auto característica detecta/software da medida
  • Auto cálculo da área de superfície, análise estatística
  • … e muito mais!

Metrologia da Aplicação-Specifific

A ferramenta da metrologia da superfície Zeta-300 é serida às aplicações como esboçada abaixo.

Análise do DIODO EMISSOR DE LUZ, do PSS & do CPE

  • Auto Altura, Diâmetro & Passo para PSS
  • Analise colisões do fotoresistente ou da cargo-gravura em àgua forte PSS
  • A Auto característica detecta, aspereza para a análise do mesa do cargo-epi
  • 2", 4" & 6" mandris do vácuo da bolacha

Análise da Célula solar e da bolacha

  • Auto Altura, Largura & Volume do Dedo
  • Poli-Si e Área De Superfície & Textura do Mono-Si
  • Espessura de Filme da AR do Silicone-Nitreto
  • o Multi-Local e o auto dedo detectam
  • mandril solar do vácuo da bolacha de 156mm

Micro-Fluídica e análise de MEMS

  • Perfilamento Transparente da multi-superfície
  • Trincheira Profunda/perfilamento bom & alto da característica do prolongamento
  • Cursores Programáveis e secções transversais

Metrologia de EZ

  • seqüências do Multi-Local & imagem multi-FOV 3D que costuram com opção do autostage
  • Auto compensação da Inclinação & do waviness
  • Nivelamento da Superfície do Automóvel
  • Auto altura da Característica, dimensões, ângulo, área
  • Auto aspereza Linear e regional

 

 

Last Update: 16. July 2013 07:49

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