Profiler Поверхностной Метрологии Точности Оптически Внеконтактный - Zeta 300 от Аппаратур Zeta

Инструмент метрологии suface Zeta-300 предусматривает объединенную акустическую изоляцию для уменьшения влияний звука и воздушных потоков на измерениях образца. Собирая данные на структурах которые меньш чем 1µm высокое, даже малые вибрации причинили звуком и помехи воздуха могут повлиять на ваши результаты. Соединено с опционной таблицей изоляции, Zeta-300 поставляет точность и повторимость бесподобные другими оптически profilers.

Гибкие Варианты Оборудования & ПО

В исследовании, оно часто непрогнозируем какой тип поверхности вам будет нужно измерить. С этим в разуме, Zeta-300 имеет modulear конструкцию которая позволяет для широкийа ассортимент вариантов так же, как пакетов программ измерения оборудования:

  • Спектрометр Толщины Фильма
  • QDIC/Nomarski для шершавости нанометр-маштаба
  • гибридная задача интерферометра iX5
  • Piezo этап для Z-Разрешения 3nm
  • Этапы Наклона, держатели образца и цыплеята вакуума
  • Автоматическая характеристика обнаруживают/ПО измерения
  • Автоматическое вычисление поверхностной области, статистический анализ
  • … и очень больше!

Метрология Применения-Specifific

Инструмент метрологии поверхности Zeta-300 одет к применениям как конспектировано ниже.

Анализ СИД, PSS & PEC

  • Автоматические Высота, Диаметр & Тангаж для PSS
  • Проанализируйте рему фоторезиста или столб-etch PSS
  • Автоматическая характеристика обнаруживает, шершавость для анализа мезы столба-epi
  • 2", 4" & 6" цыплеята вакуума вафли

Анализ Фотоэлемента и вафли

  • Автоматические Высота, Ширина & Том Перста
  • Поверхностная Область Поли-Si и Mono-Si & Текстура
  • Толщина Фильма AR Кремни-Нитрида
  • Multi-Место и автоматический перст обнаруживают
  • цыпленок вакуума вафли 156mm солнечный

Микро--Fluidics и анализ MEMS

  • Прозрачный профилировать multi-поверхности
  • Глубокий шанец/хороший & высокий профилировать характеристики коэффициента сжатия
  • Programmable стрелки и профили

Метрология EZ

  • последовательности Multi-Места & изображение multi-FOV 3D с вариантом autostage
  • Автоматическая компенсация Наклона & waviness
  • Автоматический выравнивать Поверхности
  • Автоматическая высота Характеристики, размеры, угол, зона
  • Автоматическая Линейная и ареальная шершавость

 

 

Last Update: 16. July 2013 07:49

Ask A Question

Do you have a question you'd like to ask the manufacturer of this equipment or can you provide feedback regarding your use of this equipment?

Leave your feedback
Submit
Other Equipment by this Supplier
Other Equipment