Инструмент метрологии suface Zeta-300 предусматривает объединенную акустическую изоляцию для уменьшения влияний звука и воздушных потоков на измерениях образца. Собирая данные на структурах которые меньш чем 1µm высокое, даже малые вибрации причинили звуком и помехи воздуха могут повлиять на ваши результаты. Соединено с опционной таблицей изоляции, Zeta-300 поставляет точность и повторимость бесподобные другими оптически profilers.
Гибкие Варианты Оборудования & ПО
В исследовании, оно часто непрогнозируем какой тип поверхности вам будет нужно измерить. С этим в разуме, Zeta-300 имеет modulear конструкцию которая позволяет для широкийа ассортимент вариантов так же, как пакетов программ измерения оборудования:
- Спектрометр Толщины Фильма
- QDIC/Nomarski для шершавости нанометр-маштаба
- гибридная задача интерферометра iX5
- Piezo этап для Z-Разрешения 3nm
- Этапы Наклона, держатели образца и цыплеята вакуума
- Автоматическая характеристика обнаруживают/ПО измерения
- Автоматическое вычисление поверхностной области, статистический анализ
- … и очень больше!
Метрология Применения-Specifific
Инструмент метрологии поверхности Zeta-300 одет к применениям как конспектировано ниже.
Анализ СИД, PSS & PEC
- Автоматические Высота, Диаметр & Тангаж для PSS
- Проанализируйте рему фоторезиста или столб-etch PSS
- Автоматическая характеристика обнаруживает, шершавость для анализа мезы столба-epi
- 2", 4" & 6" цыплеята вакуума вафли
Анализ Фотоэлемента и вафли
- Автоматические Высота, Ширина & Том Перста
- Поверхностная Область Поли-Si и Mono-Si & Текстура
- Толщина Фильма AR Кремни-Нитрида
- Multi-Место и автоматический перст обнаруживают
- цыпленок вакуума вафли 156mm солнечный
Микро--Fluidics и анализ MEMS
- Прозрачный профилировать multi-поверхности
- Глубокий шанец/хороший & высокий профилировать характеристики коэффициента сжатия
- Programmable стрелки и профили
Метрология EZ
- последовательности Multi-Места & изображение multi-FOV 3D с вариантом autostage
- Автоматическая компенсация Наклона & waviness
- Автоматический выравнивать Поверхности
- Автоматическая высота Характеристики, размеры, угол, зона
- Автоматическая Линейная и ареальная шершавость