Zeta300 suface 计量学工具在范例评定提供集成音响隔离减少声音和气流的作用。 当收集关于是少于 1µm 高时的结构的数据，甚而小的振动由声音导致，并且航空干扰可能影响您的结果。 加上一张选项隔离表， Zeta300 提供准确性和反复性不匹配由其他光学仿形铣床。
灵活的硬件 & 软件选择
在研究，它经常是无法预测的什么类型的表面您将需要评定。 鉴于此， Zeta300 有允许各种各样的硬件评定选项以及软件包的一个 modulear 设计：
- 胶片厚度分光仪
- 毫微米缩放比例坎坷的 QDIC/Nomarski
- iX5 杂种干涉仪目的
- 3nm Z 解决方法的压力阶段
- 掀动阶段、范例持有人和真空牛颈肉
- 自动功能检测/评定软件
- 自动表面计算，统计分析
- …和更多!
应用Specifific 计量学
Zeta300 表面计量学工具配合与应用如下所示。
LED、 PSS & 光电管分析
- 自动高度、直径 & 间距 PSS 的
- 分析光致抗蚀剂或之后铭刻 PSS 爆沸
- 自动功能检测，之后的 epi mesa 分析的坎坷
- 2"， 4" & 6" 薄酥饼真空牛颈肉
太阳能电池和薄酥饼分析
- 自动手指高度、宽度 & 数量
- 多 Si 和单音 Si 表面 & 纹理
- 硅氮化物 AR 胶片厚度
- 多位置和自动手指检测
- 156mm 太阳薄酥饼真空牛颈肉
微型流体力学和 MEMS 分析
- 透明多表面描出
- 深沟槽/好 & 高长宽比功能描出
- 可编程序的游标和横断面
EZ 计量学
- 缝与 autostage 选项的多位置的顺序 & 多 FOV 3D 图象
- 自动倾斜 & 波状报酬
- 自动表面成水平
- 自动功能高度，维数，角度，区
- 自动线性和地区坎坷