精确度表面计量学光学没有接触的仿形铣床 - 从 Zeta 仪器的 Zeta 300

Zeta300 suface 计量学工具在范例评定提供集成音响隔离减少声音和气流的作用。 当收集关于是少于 1µm 高时的结构的数据,甚而小的振动由声音导致,并且航空干扰可能影响您的结果。 加上一张选项隔离表, Zeta300 提供准确性和反复性不匹配由其他光学仿形铣床。

灵活的硬件 & 软件选择

在研究,它经常是无法预测的什么类型的表面您将需要评定。 鉴于此, Zeta300 有允许各种各样的硬件评定选项以及软件包的一个 modulear 设计:

  • 胶片厚度分光仪
  • 毫微米缩放比例坎坷的 QDIC/Nomarski
  • iX5 杂种干涉仪目的
  • 3nm Z 解决方法的压力阶段
  • 掀动阶段、范例持有人和真空牛颈肉
  • 自动功能检测/评定软件
  • 自动表面计算,统计分析
  • …和更多!

应用Specifific 计量学

Zeta300 表面计量学工具配合与应用如下所示。

LED、 PSS & 光电管分析

  • 自动高度、直径 & 间距 PSS 的
  • 分析光致抗蚀剂或之后铭刻 PSS 爆沸
  • 自动功能检测,之后的 epi mesa 分析的坎坷
  • 2", 4" & 6" 薄酥饼真空牛颈肉

太阳能电池和薄酥饼分析

  • 自动手指高度、宽度 & 数量
  • 多 Si 和单音 Si 表面 & 纹理
  • 硅氮化物 AR 胶片厚度
  • 多位置和自动手指检测
  • 156mm 太阳薄酥饼真空牛颈肉

微型流体力学和 MEMS 分析

  • 透明多表面描出
  • 深沟槽/好 & 高长宽比功能描出
  • 可编程序的游标和横断面

EZ 计量学

  • 缝与 autostage 选项的多位置的顺序 & 多 FOV 3D 图象
  • 自动倾斜 & 波状报酬
  • 自动表面成水平
  • 自动功能高度,维数,角度,区
  • 自动线性和地区坎坷

 

 

Last Update: 16. July 2013 07:45

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