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精確度表面計量學光學沒有接觸的仿形銑床 - 從 Zeta 儀器的 Zeta 300

Zeta300 suface 計量學工具在範例評定提供集成音響隔離減少聲音和氣流的作用。 當收集關於是少於 1µm 高時的結構的數據,甚而小的振動由聲音導致,并且航空干擾可能影響您的結果。 加上一張選項隔離表, Zeta300 提供準確性和反覆性不匹配由其他光學仿形銑床。

靈活的硬件 & 軟件選擇

在研究,它經常是無法預測的什麼類型的表面您將需要評定。 鑒於此, Zeta300 有允許各種各樣的硬件評定選項以及軟件包的一個 modulear 設計:

  • 膠片厚度分光儀
  • 毫微米縮放比例坎坷的 QDIC/Nomarski
  • iX5 雜種干涉儀目的
  • 3nm Z 解決方法的壓力階段
  • 掀動階段、範例持有人和真空牛頸肉
  • 自動功能檢測/評定軟件
  • 自動表面計算,統計分析
  • …和更多!

應用Specifific 計量學

Zeta300 表面計量學工具配合與應用如下所示。

LED、 PSS & 光電管分析

  • 自動高度、直徑 & 間距 PSS 的
  • 分析光致抗蝕劑或之後銘刻 PSS 爆沸
  • 自動功能檢測,之後的 epi mesa 分析的坎坷
  • 2", 4" & 6" 薄酥餅真空牛頸肉

太陽能電池和薄酥餅分析

  • 自動手指高度、寬度 & 數量
  • 多 Si 和單音 Si 表面 & 紋理
  • 硅氮化物 AR 膠片厚度
  • 多位置和自動手指檢測
  • 156mm 太陽薄酥餅真空牛頸肉

微型流體力學和 MEMS 分析

  • 透明多表面描出
  • 深溝槽/好 & 高長寬比功能描出
  • 可編程序的游標和橫斷面

EZ 計量學

  • 縫與 autostage 選項的多位置的順序 & 多 FOV 3D 圖像
  • 自動傾斜 & 波狀報酬
  • 自動表面成水平
  • 自動功能高度,維數,角度,區
  • 自動線性和地區坎坷

 

 

Last Update: 16. July 2013 07:46

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