Zeta300 suface 計量學工具在範例評定提供集成音響隔離減少聲音和氣流的作用。 當收集關於是少於 1µm 高時的結構的數據，甚而小的振動由聲音導致，并且航空干擾可能影響您的結果。 加上一張選項隔離表， Zeta300 提供準確性和反覆性不匹配由其他光學仿形銑床。
靈活的硬件 & 軟件選擇
在研究，它經常是無法預測的什麼類型的表面您將需要評定。 鑒於此， Zeta300 有允許各種各樣的硬件評定選項以及軟件包的一個 modulear 設計：
- 膠片厚度分光儀
- 毫微米縮放比例坎坷的 QDIC/Nomarski
- iX5 雜種干涉儀目的
- 3nm Z 解決方法的壓力階段
- 掀動階段、範例持有人和真空牛頸肉
- 自動功能檢測/評定軟件
- 自動表面計算，統計分析
- …和更多!
應用Specifific 計量學
Zeta300 表面計量學工具配合與應用如下所示。
LED、 PSS & 光電管分析
- 自動高度、直徑 & 間距 PSS 的
- 分析光致抗蝕劑或之後銘刻 PSS 爆沸
- 自動功能檢測，之後的 epi mesa 分析的坎坷
- 2"， 4" & 6" 薄酥餅真空牛頸肉
太陽能電池和薄酥餅分析
- 自動手指高度、寬度 & 數量
- 多 Si 和單音 Si 表面 & 紋理
- 硅氮化物 AR 膠片厚度
- 多位置和自動手指檢測
- 156mm 太陽薄酥餅真空牛頸肉
微型流體力學和 MEMS 分析
- 透明多表面描出
- 深溝槽/好 & 高長寬比功能描出
- 可編程序的游標和橫斷面
EZ 計量學
- 縫與 autostage 選項的多位置的順序 & 多 FOV 3D 圖像
- 自動傾斜 & 波狀報酬
- 自動表面成水平
- 自動功能高度，維數，角度，區
- 自動線性和地區坎坷