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Kombinierte AFM-SEM-FIB Anlage von Nanonics-Darstellung

Elektron microscopies sind eine treibende Kraft in der nanotechnological Drehbewegung, dass wir uns herein heute finden. Atomkraftmikroskopie zusammen mit Scannentunnelbaumikroskopie ist eine andere aktivierende Technologie auf dem wachsenden Gebiet der Nanotechnologie. Diese zwei Welten, obgleich in hohem Grade höflich, sind im Allgemeinen und auseinander unterschiedlich gewesen. Zum ersten Mal überhaupt, ist Nanonics Imaging Ltd. in seinem Antrieb für integrierte mikroskopische Lösungen jetzt zu völlig und integrieren durchsichtig diese zwei Welten in der Lage gewesen.

  • Simultane und Unabhängige SPM-/SEMDarstellung
  • Transparente Integration mit irgendeinem SEM oder FLUNKEREI mit einer genug großen Beispielkammer
  • Normalkraft Ermittlen: Kontakt, Berührungsfrei und Zeitweilige Kontakt-Modi in SPM
  • Cathodoluminescencemaß der Hohen Auflösung

Höfliche Techniken von SEM und von FLUGHANDBUCH
Das Rasterelektronenmikroskop hat Schwierigkeit, Informationen über eine Vielzahl von Proben einzuholen. Eine solche Situation ist der Fall von einem Graben in einem Halbleiterwafer, in dem SEM die Unterseite oder die Seitenwand der Grabenzelle nicht ansehen kann. Unter Verwendung der eindeutigen FLUGHANDBUCH-Fähigkeiten des MultiView 400™ kann der Operator einer SEM- oder FLUNKEREI-Maschine, auf Zeile, Fragen stellen über hohe Längenverhältniszellen (z.B. Seitenwandwinkel und die Oberflächenzelle von diesen Seitenwand in einer Vielzahl von wichtigen Einheiten mit vias und anderen Zellen.

Last Update: 11. January 2012 06:18

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