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Sistema Combinato di AFM-SEM-FIB da Rappresentazione di Nanonics

I microscopies dell'Elettrone sono una forza motrice nella rivoluzione nanotechnological che ci troviamo oggi dentro. La microscopia Atomica della forza con microscopia di traforo di scansione è un'altra tecnologia permettente nel campo crescente di nanotecnologia. Questi due mondi, sebbene altamente lusinghieri, siano stati generalmente separati ed a parte. Per la prima volta mai, Rappresentazione Srl di Nanonics nella sua unità per le soluzioni microscopiche integrate ora ha potuta a completamente e trasparente integra questi due mondi.

  • Rappresentazione Simultanea e Indipendente di SPM/SEM
  • Integrazione Trasparente con qualsiasi SEM o FIB con una camera sufficiente grande del campione
  • Sensazione di Forza Normale: Contatto, Senza contatto e Modi di Contatto Intermittenti in SPM
  • Misura Di alta risoluzione di Luminescenza Catodica

Tecniche Lusinghiere di SEM e di AFM
Il Microscopio Elettronico A Scansione Incontra difficoltà ottenere le informazioni su vari campioni. Una tale situazione è il caso di una fossa in un wafer a semiconduttore in cui SEM non può osservare il fondo o il muro laterale della struttura della fossa. Facendo Uso delle capacità uniche del AFM del MultiView 400™ L'operatore di un commputer FIB o di SEM può fare, in linea, le domande riguardo alle alte strutture di allungamento (per esempio angoli di parete laterale e la struttura di superficie dei questi muro laterale in varie unità importanti con i vias ed altre strutture.

Last Update: 11. January 2012 06:20

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