Mga elektron microscopies ay isang puwersang nagtataboy sa nanotechnological rebolusyon na namin mahanap ang ating sarili sa ngayon. Atomic lakas mikroskopya kasama sa pag-scan ng tunneling mikroskopya ay isa pang pagpapagana ng teknolohiya sa lumalaking patlang ng Nanotechnology. Ang dalawang mundo, bagaman lubos na pumupuri, mayroon pangkalahatan ay hiwalay at hiwalay. Para sa unang panahon kailanman, Nanonics Imaging Ltd sa kanyang drive para sa mga integrated na mikroskopiko solusyon ay ngayon ay magagawang upang lubos na at halatang pagsamahin ang dalawang mundo na ito.
- Sabay-sabay at Independent SPM / SEM Imaging
- Transparent pagsasama sa anumang SEM o magsinungaling na may isang sapat na malaking sample ng kamara
- Normal Force Sensing: Contact, Non-Contact, at paulit-ulit ang mga Contact mode sa SPM
- High resolution Cathodoluminescence pagsukat
Kaloob pamamaraan ng SEM at AFM
Ang scan na elektron sa mikroskopyo ay nahihirapan sa pagkuha ng impormasyon sa isang iba't ibang mga mga halimbawa. Isang tulad na sitwasyon ay ang kaso ng isang trintsera sa isang semiconductor ostiya kung saan ang isang SEM ay hindi maaaring tingnan sa ibaba o ang sidewall ng istraktura ng trintsera. Gamit ang mga natatanging kakayahan ng AFM ng MultiView 400 ™ Ang operator ng isang SEM o magsinungaling machine ay maaaring magtanong, sa linya, ang mga katanungan tungkol sa mga mataas na kaayusan aspect ratio (hal. bahagi pader anggulo at sa ibabaw ng istraktura ng mga sidewall ng iba't ibang mga mahalagang mga aparato na may vias at iba pang mga kaayusan.