納諾凹進測試人員是通過縮進創建的提供表面機械描述特性數據給深度在毫微米微米縮放比例。 此納諾凹進測試人員可以使用分析有機，無機，軟或者困難材料和塗層。 說明某個示例例如稀薄和多層 PVD、 CVD、 PECVD、光致抗蝕劑、油漆、亮漆和影片和塗層的許多其他類型。 粒狀材料表面機械描述特性在困難或軟的材料以及金屬、半導體、玻璃、陶瓷，綜合， biomimetic 和體外生物材料可能也執行。
功能
- 唯一頂引用的表面確定
- 在測試前後的自動化的光學顯微鏡照相機檢驗
- 反饋控制簡正力量
- 凹進深度的有差別的電容評定
- 個人計算機自動化的數據收集，存貯和評估的軟件包
選項
- 真空或環境控制封入物
- 基本強制顯微鏡
- 高分辨率照相機
- 高分辨率 (0.25 um) X - Y 的範例階段