MSP100 显微分光光度计和薄膜测量系统用于分析薄膜，在微米区域区的厚实的涂层光学性能。
显微分光光度计也称 microreflectometer、微型反射仪、 microspectrometer、测微光度计 (分光镜)， microspectroscopic 光度计等。 唯一设计由埃的专业人员，这个用户能享受与以活录影，强大数字式编辑，为反映，传输，吸收光谱的评定工具为特色的 MSP100 显微分光光度计的数字成象功能。 数据收集只需要毫秒。 TFProbe 软件允许用户设置热化阶段或冷却运动研究的阶段在光学性能的实时更改例如反射率、透射率、涂层厚度， R.i. (光学常数) 等。
功能
MSP100 显微分光光度计的功能包括：
- 容易运行与视窗根据软件
- 先进的 DUV 光学和坚固性设计最高的正常运行和最佳的系统性能的
- 排列基于探测器系统保证快速评定
- 价格合理，可移植和小的脚印台式设计
- 评定胶片厚度和 R.i. 至在微米范围区域的 5 块层
- 在毫秒准许获取反映、传输和吸收光谱
- 能够为实时光谱，厚度， R.i. 监控将使用
- 系统来与全面光学常数数据库和图书馆
- 先进的软件允许用户为每部单个影片使用 NK 表、散射或者综合设计 (EMA)
- 集成远见，光谱，模拟，胶片厚度测量系统
- 运用于许多基体的另外类型与另外厚度的至 200mm 范围
- 深刻的紫外光准许评定胶片厚度下来到 20Å
- 第 2 和 3D 输出图象和用户友好数据管理界面
- 维数评定的先进的想象软件例如角度、距离，区，微粒计数和更多
- 可用多种的选项满足特殊应用
应用
MSP100 显微分光光度计配合使用在：
- 半导体制造 (PR，氧化物，氮化物。)
- 液晶显示 (ITO， PR，细胞空白 .....)
- 辩论术、生物影片和材料
- 墨水，矿物学，颜料，调色剂
- 配药，中间设备
- 光学涂层， TiO2， SiO2， Ta2O5 .....
- 半导体化合物
- 在 MEMS/MOEMS 的功能影片
- 无定形，纳诺和水晶 Si