Die Dicke SRM100, die Maß-Anlage Abbildet, kann die Dicke und den Brechungskoeffizienten über den Proben messen, die so groß sind wie 300x300mm.
Merkmale
Merkmale der Dicke SRM100, die Maß-Anlage Abbildet, umfassen
- Einfach, mit Fenster basierten zu montieren und zu benützen Software
- Verschiedene Baumuster der Geometriesubstratfläche bis bis 300x300mm oder zu 300mm im Durchmesser
- Verschiedene Baumuster des Abbildens des Musters wie lineare, polare, quadratische oder willkürliche Koordinaten
- Hoch entwickelte Optik und schroffe Auslegung für beste Systemleistung
- Kleiden Sie basierte Detektoranlage, um schnelles Maß sicherzustellen
- Bilden Sie Dicke und Brechungskoeffizienten bis zu 5 Schichten ab
- Anlage kommt mit umfassender optischer Konstantendatenbank und -bibliothek
- Umfassen Sie allgemein verwendete Rezepte
- Hoch entwickelte TFProbe-Software erlaubt Benutzer, entweder NK-Tisch, Streuung oder effektiven Medianäherungswert für (EMA) jeden einzelnen Film zu verwenden.
- Erweiterungsfähig zu Einteilungssystem MSP (Mikrospektralfotometer) mit Mustererkennung oder zur Großen Stelle für das Abbilden über kopierter oder gekennzeichneter Zelle (mit Zonerage-Baumuster)
- Wenden Sie an vielen unterschiedliches Baumuster von Substratflächen mit unterschiedlicher Stärke an
- 2D und der Ausgabe 3D Grafiken und benutzerfreundliche Datenverwaltungsschnittstelle mit statistischen Ergebnissen
Anwendungen
Die Dicke SRM100, die Maß-Anlage Abbildet, wird entsprochen, um in zu verwenden:
- Halbleiterfälschung (FOTOREZEPTOR, Oxid, Nitrid.)
- Flüssigkristallbildschirmanzeige (ITO, FOTOREZEPTOR, Zellabstand .....)
- Biologische Filme und Materialien
- Optische Beschichtungen, TiO2, SiO2, TaO25 .....
- Halbleitermittel
- Funktionsfilme in MEMS/MOEMS
- Formloses, Nano-- und kristallenes Si