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オングストロームの日曜日の技術からの測定システムをマップする SRM100 フィルム厚さ

測定システムをマップする SRM100 フィルム厚さは 300x300mm 大きいサンプルを渡るフィルム厚さそして R.i. を測定できます。

機能

測定システムをマップする SRM100 フィルム厚さの機能は含んでいます

  • Windows とセットアップし、作動すること容易ソフトウェアを基づかせていました
  • さまざまなタイプの直径の 300x300mm か 300mm までの幾何学の基板
  • さまざまなタイプの線形、北極の、正方形または任意の座標のようなパターンのマップ
  • 最大のシステムパフォーマンスのための高度の光学そして険しいデザイン
  • 速い測定を保障するために基づいた探知器システムを配列して下さい
  • 5 つの層までフィルム厚さおよび R.i. をマップして下さい
  • システムは広範囲の光学定数データベースおよびライブラリと来ます
  • 広く使われた調理法を含んで下さい
  • TFProbe の高度のソフトウェアはユーザーが各々の個々のフィルムのために NK 表、分散または有効な (EMA)媒体の近似を使用することを可能にします。
  • パターン認識の MSP (マイクロ・スペクトル光度計) のマップシステム、か模造されたか、または特色にされた構造にマップのための大きい点にアップグレード可能 (Zonerage モデルと)
  • 多くのに別のタイプの別の厚さの基板を加えて下さい
  • 統計的な結果を用いる第 2 および 3D 出力図形そしてユーザーフレンドリーのデータ管理インターフェイス

アプリケーション

測定システムをマップする SRM100 フィルム厚さはで使用するために適します:

  • 半導体の製造 (PR の酸化物、窒化物。)
  • 液晶表示装置 (ITO、 PR のセルギャップ .....)
  • 生物的フィルムおよび材料
  • 光学コーティング、 TiO2、 SiO2、タオ25 .....
  • 半導体の混合物
  • MEMS/MOEMS の機能フィルム
  • 無定形、 nano および結晶 Si

Last Update: 31. January 2012 23:53

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