Site Sponsors
  • Oxford Instruments Nanoanalysis - X-Max Large Area Analytical EDS SDD
  • Strem Chemicals - Nanomaterials for R&D
  • Park Systems - Manufacturer of a complete range of AFM solutions

Встроенный Контроль Толщины Фильма с Спектроскопическим Рефлектометром от Технологий Солнця Ангстрома

Толщина Фильма SRM100 Отображая Систему Измерения может измерить толщину фильма и R.I. через образцы как большие как 300x300mm.

Характеристики

Характеристики Толщины Фильма SRM100 Отображая Систему Измерения включают

  • Легко для того чтобы настроить и работать с Окном основали ПО
  • Различные типы субстрата геометрии до 300x300mm или 300mm в диаметре
  • Различные типы отображать картину как линейные, приполюсные, квадратные или произвольные координаты
  • Предварительная оптика и изрезанная конструкция для самой лучшей системной производительности
  • Оденьте основанную систему детектора для того чтобы обеспечить быстрое измерение
  • Отобразьте толщину фильма и R.I. до 5 слоев
  • Система приходит с всесторонними оптически базой данных и архивом констант
  • Включите обыкновенно используемые рецепты
  • Предварительное ПО TFProbe позволяет пользователю использовать или таблицу NK, рассеивание или эффективное приближение средств (EMA) для каждого индивидуального фильма.
  • Upgradeable к системе MSP (Microspectrophotometer) отображая с распознаванием по образцу, или Большому Пятну для отображать над сделанной по образцу или отличенной структурой (с Моделью Zonerage)
  • Приложите к много разный вид субстратов с различной толщиной
  • графики 2D и выхода 3D и дружественный интерфейс управления данными с статистически результатами

Применения

Толщина Фильма SRM100 Отображая Систему Измерения одета для использования в:

  • Изготовление Полупроводника (PR, Окись, Нитрид.)
  • Дисплей Жидкостного кристалла (ITO, PR, зазор Клетки .....)
  • Биологические фильмы и материалы
  • Оптически покрытия, TiO2, SiO2, Дао25 .....
  • Смеси Полупроводника
  • Функциональные фильмы в MEMS/MOEMS
  • Аморфический, nano и кристаллический Si

Last Update: 31. January 2012 23:56

Ask A Question

Do you have a question you'd like to ask the manufacturer of this equipment or can you provide feedback regarding your use of this equipment?

Leave your feedback
Submit
Other Equipment by this Supplier
Other Equipment