映射测量系统的 SRM100 胶片厚度可能评定胶片厚度和 R.i. 在范例间一样大象 300x300mm。
功能
映射测量系统的 SRM100 胶片厚度的功能包括
- 容易设置和运行与视窗根据软件
- 几何基体的多种类型至 300x300mm 或 300mm 的直径
- 映射模式的多种类型例如线性,极性,方形或者任意坐标
- 先进的光学和坚固性设计最佳的系统性能的
- 排列基于探测器系统保证快速评定
- 映射胶片厚度和 R.i. 至 5 块层
- 系统来与全面光学常数数据库和图书馆
- 包括常用的处方
- 先进的 TFProbe 软件允许用户为每部单个影片使用 NK 表、散射 (EMA)或者有效媒体近似值。
- 可升级对与模式识别的 MSP (显微分光光度计) 制图系统或者映射的大地点在被仿造的或特色结构 (与 Zonerage 设计)
- 运用于许多基体的另外类型与另外厚度的
- 第 2 和 3D 输出图象和用户友好数据管理界面与统计结果
应用
映射测量系统的 SRM100 胶片厚度配合使用在:
- 半导体制造 (PR,氧化物,氮化物。)
- 液晶显示 (ITO, PR,细胞空白 .....)
- 生物影片和材料
- 光学涂层, TiO2, SiO2,陶25 .....
- 半导体化合物
- 在 MEMS/MOEMS 的功能影片
- 无定形,纳诺和水晶 Si