Site Sponsors
  • Park Systems - Manufacturer of a complete range of AFM solutions
  • Strem Chemicals - Nanomaterials for R&D
  • Oxford Instruments Nanoanalysis - X-Max Large Area Analytical EDS SDD

SE200BA 胶片厚度评定的分光镜 Ellipsometer 从 Angstom 太阳技术

映射测量系统的 SRM100 胶片厚度可能评定胶片厚度和 R.i. 在范例间一样大象 300x300mm。

功能

映射测量系统的 SRM100 胶片厚度的功能包括

  • 容易设置和运行与视窗根据软件
  • 几何基体的多种类型至 300x300mm 或 300mm 的直径
  • 映射模式的多种类型例如线性,极性,方形或者任意坐标
  • 先进的光学和坚固性设计最佳的系统性能的
  • 排列基于探测器系统保证快速评定
  • 映射胶片厚度和 R.i. 至 5 块层
  • 系统来与全面光学常数数据库和图书馆
  • 包括常用的处方
  • 先进的 TFProbe 软件允许用户为每部单个影片使用 NK 表、散射 (EMA)或者有效媒体近似值。
  • 可升级对与模式识别的 MSP (显微分光光度计) 制图系统或者映射的大地点在被仿造的或特色结构 (与 Zonerage 设计)
  • 运用于许多基体的另外类型与另外厚度的
  • 第 2 和 3D 输出图象和用户友好数据管理界面与统计结果

应用

映射测量系统的 SRM100 胶片厚度配合使用在:

  • 半导体制造 (PR,氧化物,氮化物。)
  • 液晶显示 (ITO, PR,细胞空白 .....)
  • 生物影片和材料
  • 光学涂层, TiO2, SiO2,陶25 .....
  • 半导体化合物
  • 在 MEMS/MOEMS 的功能影片
  • 无定形,纳诺和水晶 Si

Last Update: 31. January 2012 23:50

Ask A Question

Do you have a question you'd like to ask the manufacturer of this equipment or can you provide feedback regarding your use of this equipment?

Leave your feedback
Submit
Other Equipment by this Supplier
Other Equipment