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SE200BA 膠片厚度評定的分光鏡 Ellipsometer 從 Angstom 太陽技術

映射測量系統的 SRM100 膠片厚度可能評定膠片厚度和 R.i. 在範例間一樣大像 300x300mm。

功能

映射測量系統的 SRM100 膠片厚度的功能包括

  • 容易設置和運行與視窗根據軟件
  • 幾何基體的多種類型至 300x300mm 或 300mm 的直徑
  • 映射模式的多種類型例如線性,極性,方形或者任意坐標
  • 先進的光學和堅固性設計最佳的系統性能的
  • 排列基於探測器系統保證快速評定
  • 映射膠片厚度和 R.i. 至 5 塊層
  • 系統來與全面光學常數數據庫和圖書館
  • 包括常用的處方
  • 先進的 TFProbe 軟件允許用戶為每部單個影片使用 NK 表、散射 (EMA)或者有效媒體近似值。
  • 可升級對與模式識別的 MSP (顯微分光光度計) 製圖系統或者映射的大地點在被仿造的或特色結構 (與 Zonerage 設計)
  • 運用於許多基體的另外類型與另外厚度的
  • 第 2 和 3D 輸出圖像和用戶友好數據管理界面與統計結果

應用

映射測量系統的 SRM100 膠片厚度配合使用在:

  • 半導體製造 (PR,氧化物,氮化物。)
  • 液晶顯示 (ITO, PR,細胞空白 .....)
  • 生物影片和材料
  • 光學塗層, TiO2, SiO2,陶25 .....
  • 半導體化合物
  • 在 MEMS/MOEMS 的功能影片
  • 無定形,納諾和水晶 Si

Last Update: 31. January 2012 23:50

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