Die Spektralanalytische Maß-Anlage des Reflectometer-SR300 u. der Dicke kann verwendet werden, um die Dicke, den Brechungskoeffizienten, die Reflexion, die Übertragung und die Absorptionsspektren von thinf Filmen und Beschichtungen zu messen.
Merkmale
Merkmale der Spektralanalytischen Maß-Anlage des Reflectometer-SR300 u. der Dicke sind, wie folgt:
- Einfach zu montieren
- Einfach, mit Fenster basierte zu benützen Software
- Hoch entwickelte Optik konstruieren für beste Systemleistung
- Kleiden Sie basierte Detektoranlage, um schnelles Maß sicherzustellen
- Eindeutig konstruierte Lichtquelle für bessere Intensitätsstabilität
- Es gibt vier Möglichkeiten, Lichtstärke einzustellen:
- Leistungsabgabeeinstellung durch Knopf von der Stromversorgung
- Schieben Sie einen Filter in Filterschlitz am Ausgangsanschluß der hellen Ausgabe ein
- Strahlen Sie Größeneinstellung
- Integrationszeiteinstellung im Detektor von TFProbe-Software
- Maßnahmedicke und Brechungskoeffizient bis zu 5 Schichten
- Dürfen Sie Reflexion, Übertragung und Absorptionsspektren in Millisekunden erwerben
- Fähig für Echtzeit- oder Inline-Stärke, Brechungskoeffizient-Überwachung verwendet werden
- Anlage kommt mit umfassender optischer Konstantendatenbank und -bibliothek
- Hoch entwickelte TFProbe-Software erlaubt Benutzer, entweder NK-Tisch, Streuung oder effektiven Medianäherungswert für (EMA) jeden einzelnen Film zu verwenden.
- Erweiterungsfähig zu Anlage MSP (Mikrospektralfotometer), Einteilungssystem SRMS, Anlage des Mehrfachen Kanals, Große Stelle für direktes Maß über kopierter oder gekennzeichneter Zelle
- Wenden Sie an vielen unterschiedliches Baumuster von Substratflächen mit unterschiedlicher Stärke an
- Die Verschiedenen Zubehör, die für spezielle Konfigurationen wie laufendes Maß über der Kurve erhältlich sind, tauchen auf
- 2D und der Ausgabe 3D Grafiken und benutzerfreundliche Datenverwaltungsschnittstelle
Anwendungen
Die Spektralanalytische Maß-Anlage des Reflectometer-SR300 u. der Dicke wird entsprochen, um in zu verwenden:
- Halbleiterfälschung (FOTOREZEPTOR, Oxid, Nitrid.)
- Flüssigkristallbildschirmanzeige (ITO, FOTOREZEPTOR, Zellabstand .....)
- Kriminalistik, Biologische Filme und Materialien
- Tinten, Mineralogie, Pigmente, Toner
- Pharmazeutische Produkte, MittelEinheiten
- Optische Beschichtungen, TiO2, SiO2, Ta2O5 .....
- Halbleitermittel
- Funktionsfilme in MEMS/MOEMS
- Formloses, Nano-- und kristallenes Si