Den Spectroscopic Reflectometeren SR300 & Filmar TjockleksMätningsSystemet kan vara van vid mäter filmatjockleken, R.I., reflexion, filmar överförings- och absorberingsspectra av thinf och beläggningar.
Särdrag
Särdrag av den Spectroscopic Reflectometeren SR300 & Filmar TjockleksMätningsSystemet är som följer:
- Lätt att ställa in
- Lätt att fungera med baserad programvara för Fönster
- Avancerad optikdesign för bäst systemkapacitet
- Det Samling baserade avkännaresystemet som ska ses till, fastar mätning
- Unikt planlagd ljus källa för bättre styrkestabilitet
- Det finns fyra väg att justera ljus styrka:
- Driva tillverkad justering vid knoppen från driver tillförsel
- Sätt In en filtrera in i filtrerar springan på tillverkat ljust går ut port
- Beam storleksanpassar justering
- Integrationstidjustering i Avkännare från TFProbe programvara
- Measure filmar tjocklek och R.I. upp till 5 lagrar
- Låt få reflexions-, överförings- och absorberingsspectra i millisekunder
- Kapabelt att användas för real-time eller i-fodra tjocklek, R.I.-övervakning
- Systemet kommer med det omfattande optiska konstantdatabas och arkivet
- Avancerad TFProbe Programvara låter användaren använda endera NK bordlägger, spridning, eller effektiv massmedianärhet (EMA) för varje individ filmar.
- Upgradeable till systemet för MSP (Microspectrophotometer), SRM som Kartlägger systemet, Multipel kanalisera systemet, riktar den Stora Fläcken för mätning över mönstrat, eller presenterat strukturera
- Applicera till många olik typ av substrates med olik tjocklek
- Den Olika tillbehören som är tillgänglig för speciala konfigurationer liksom rinnande mätning över bukta, ytbehandlar
- 2D och 3D tillverkade diagram och användarvänlig dataledning har kontakt
Applikationer
Den Spectroscopic Reflectometeren SR300 & Filmar TjockleksMätningsSystemet passas för att använda i:
- Halvledarefabricering (PR, Oxid, Nitride.)
- Skärm för Vätskekristall (ITO, PR, Cellmellanrum .....)
- Forensicsen som är Biologisk filmar och material
- Färgpulver Mineralogy, Pigments, Färgpulver
- Pharmaceuticals Medial Apparater
- Optiska beläggningar, TiO2, SiO2, Ta2O5 .....,
- Halvledaresammansättningar
- Funktionellt filmar i MEMS/MOEMS
- Amorphous, nano och crystalline Si