Sistema de la Energía del Ión de Semion y de Análisis del Flux del Ión por Impedans

El „¢ de Semionâ Que Retarda el Sistema del Analizador de la Energía del Campo se diseña para medir la Energía del Ión y el Flux del Ión en una superficie en polarización negativa en un compartimiento del plasma.

El Sistema del ¢ del „de Semionâ consiste en una Antena de la multi-matriz del Analizador de la Energía (RFEA) del Campo Que Retarda, el compartimiento alimentación-por el ensamblaje, la unidad de mando electrónica y el software de aplicación.

Impedans emplea un rango la matriz 3 de la matriz y 4 que retarda analizadores del campo para proporcionar a mediciones de cabeza del flux de la distribución y del ión de la energía del ión de la industria.

La Antena de RFEA se puede montar en un casquillo del electrodo/del substrato, o en un fulminante simulado para muestrear condiciones de tramitación del fulminante.

El Sistema del ¢ del „de Semionâ es conveniente para la instalación en una amplia gama de configuraciones de la fuente del plasma; capacitively acoplado, acoplado, magnetrón, pulsado inductivo en diagonal, arco conectado en cascada, y fuente alejada.

El „el ¢ de Semionâ se puede utilizar bajo condiciones diagonales siguientes (único, doble, y de múltiples frecuencias)
  • Conectado A Tierra
  • DC
  • El Conectar
  • RF
  • Pulsado/dio forma en diagonal
Una característica única del producto es la capacidad de poner la antena de RFEA en un electrodo diagonal impulsado. La antena de RFEA conecta con el electrodo, similar a un fulminante o a un substrato, y puede medir el flux del ión y la energía del ión en la superficie del substrato, sin perturbar el proceso.

La Unidad de Mando del ¢ del „de Semionâ proporciona a todos los polarizado requeridos del voltaje de matriz y viene con software barrer y controlar la Antena de RFEA automáticamente.

Características
  • Substrato montado Retardando la Antena del Analizador de la Energía del Campo
  • Medición "in-situ" de
  • Distribución de la Energía del Ión
  • Flux del Ión
  • Corriente del Ión
  • Flux y Energía de Electrón
  • Medición de las Energías del Ión en hasta 2500eV en las presiones hasta 300mT
  • Cronometre la capacidad resuelta de la medición hasta 500kHz para los sistemas pulsados, con la resolución de tiempo de 44nS
  • Plasma que conecta la característica adjustent de la medición potencial
  • Fácil instalar, ninguna modificación retroactiva del compartimiento requerida
  • Sistema Portátil permitiendo análisis en compartimientos múltiples usando único sistema


Aplicaciones

El Sistema del ¢ del „de Semionâ encuentra muchas aplicaciones en la investigación y la industria:
  • € “IEDF, Flux del Ión, EEDF, investigación de la Investigación del Plasma de la ión negativo
  • Grabado De Pistas del †del R&D del proceso y de la herramienta del Semiconductor “, PECVD, Deposición
  • Materiales/Película Fina Que Recubre Chisporroteo del Magnetrón de DC del †del revelado De Proceso “, HiPIMS, HPPMS Etc.
  • Análisis del Haz de Ión
  • € Solar/de la Pantalla Plana “IEDF del proceso y de la herramienta del R&D y supervisión del flux del ión
  • Fuente de Alimentación del R&D del Equipo de la Herramienta, revelado del compartimiento
  • Diagnósticos del Proceso de Fabricación del Plasma - poste P.M. de las condiciones - Dimensión V.C.C. en voltaje de polarización del substrato

Last Update: 14. March 2012 08:27

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