Impedans 著 Semion イオンエネルギーおよびイオン変化解析システム

フィールドエネルギー検光子システムを遅らせる Semionâ の„¢ は血しょう区域の偏りのある表面でイオンエネルギーおよびイオン変化を両方測定するように設計されています。

Semionâ の„¢ システムはアセンブリ供給による遅延フィールドエネルギー検光子の (RFEA)多重グリッドのプローブ、区域、電子制御装置およびアプリケーション・ソフトウェアから成っています。

Impedans は企業一流イオンエネルギー分布およびイオン変化測定を提供するためにフィールド検光子を遅らせる 3 格子および 4 格子の範囲を用います。

RFEA のプローブは電極/基板のホールダーに、またはダミーのウエファーにウエファーの処理状態を見本抽出するために取付けることができます。

Semionâ の„¢ システムは血しょうソース構成の広い範囲のインストールのために適しています; capacitively つながれる、斜めに帰納的につながれる、マグネトロン、滝のように落とされたアーク脈打つおよび遠隔ソース。

Semionâ の„¢ は次のバイアス条件 (単一、二重、および多重周波数) の下で使用することができます
  • 基づかせている
  • DC
  • 浮遊
  • RF
  • 脈打つ/斜めに形づきました
製品の一義的な機能は運転されたバイアス電極に RFEA のプローブを置く機能です。 RFEA のプローブはウエファーか基板と同じような電極によって浮かび基板の表面でプロセスを妨げないでイオン変化およびイオンエネルギーを、測定できます。

Semionâ の„¢ の制御装置は必須のグリッドボルトバイアスすべてを提供し、ソフトウェアと RFEA のプローブを自動的に掃除し、制御することを来ます。

機能
  • 取付けられる基板フィールドエネルギー検光子のプローブを遅らせます
  • In-situ 測定の
  • イオンエネルギー分布
  • イオン変化
  • イオン流れ
  • 電子変化およびエネルギー
  • 300mT までの圧力の 2500eV までののイオンエネルギーの測定
  • 44nS の時間解像度の脈打ったシステムのための 500kHz まで解決する測定の機能を、時間を計って下さい
  • 潜在的な測定の adjustent 機能を浮かべる血しょう
  • インストールすること容易必要な区域の改装無し
  • 携帯用システム多重区域の分析を単一システムを使用して許可します


アプリケーション

Semionâ の„¢ システムは研究および企業の多くのアプリケーションを見つけます:
  • 血しょう研究の †「IEDF のイオン変化、 EEDF の否定的なイオン調査
  • 半導体のプロセスおよびツール R & D の â€の 「腐食、 PECVD の沈殿
  • 材料/プロセス開発の â€に 「塗る薄膜 DC のマグネトロンの等放出させること、 HiPIMS、 HPPMS。
  • イオンビームの分析
  • 太陽/フラットパネルプロセスおよびツール R & D の †「IEDF およびイオン変化モニタリング
  • ツール装置 R & D の電源、区域の開発
  • 血しょう製造工程の診断 - 条件のポスト PM - 基板バイアス電圧の測定 Vdc

Last Update: 14. March 2012 08:26

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